截至8月13日收盘，光刻机概念上涨2.49%，位居概念板块涨幅第9，板块内，29股上涨，中船特气20%涨停，凯美特气、海立股份、洪田股份等涨停，华特气体、百傲化学、中润光学等涨幅居前，分别上涨12.56%、5.01%、4.38%。跌幅居前的有炬光科技、久日新材、张江高科等，分别下跌3.65%、1.91%、1.70%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流出4.79亿元，其中，17股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入2.55亿元，净流入资金居前的还有中船特气、凯美特气、富乐德等，主力资金分别净流入1.60亿元、1.28亿元、7956.46万元。

　　资金流入比率方面，凯美特气、中船特气、永新光学等流入比率居前，主力资金净流入率分别为15.64%、11.67%、8.76%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜