截至9月19日收盘，光刻机概念上涨2.09%，位居概念板块涨幅第1，板块内，27股上涨，凯美特气、永新光学、海立股份等涨停，腾景科技、波长光电、华亚智能等涨幅居前，分别上涨14.94%、14.60%、6.15%。跌幅居前的有广立微、芯碁微装、同飞股份等，分别下跌4.44%、3.54%、2.40%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入16.87亿元，其中，21股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入7.92亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、波长光电、新莱应材等，主力资金分别净流入6.70亿元、2.09亿元、9907.64万元。

　　资金流入比率方面，凯美特气、海立股份、波长光电等流入比率居前，主力资金净流入率分别为24.35%、23.47%、7.99%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜