请问贵公司光刻胶产品目前有什么进展?公司抛光液产品有哪些优势?
鼎龙股份:
尊敬的投资者,您好!公司潜江年产 300 吨 KrF/ArF 光刻胶量产线已于今年 3 月建成投产,为国内首条全流程自主化高端光刻胶量产产线。公司目前已有8款高端晶圆光刻胶(其中ArF光刻胶与KrF光刻胶各4款)取得多家国内主流晶圆厂客户的批量订单,即较今年一季度末新增5款,并有数款产品预期在今年年内实现订单转化。公司正积极提升产品交付速度,2026年上半年产品交付量预计显著提升,商业化进程显著加快。测试进展方面,公司已经累计布局40余款高端晶圆光刻胶,近30款产品向客户送样开展验证测试,其中超10款进入加仑样测试阶段。同时,公司还布局了数款配套的BARC、SOC等光刻辅材,商业化落地节奏持续加快。
CMP 抛光液核心竞争优势
全品类产品矩阵:覆盖铜、铜阻挡层、钨、多晶硅、氮化硅、碳化硅衬底等全制程抛光液,同步配套对应清洗液,实现一站式耗材配套交付;
上游原料自主制备:纳米研磨粒子自主研发、规模化自产,摆脱对外购核心粒子依赖,有效管控成本、稳定供货、匹配定制化抛光需求;
验证与交付优势:多款抛光液已通过国内主流存储、逻辑晶圆厂严苛验证并批量供货,适配先进存储、第三代半导体等新兴工艺;
技术协同优势:与公司 CMP 抛光垫形成材料一体化配套研发,可同步匹配客户抛光工艺优化,提升晶圆良率,形成差异化竞争壁垒。
尊敬的投资者,您好!公司潜江年产 300 吨 KrF/ArF 光刻胶量产线已于今年 3 月建成投产,为国内首条全流程自主化高端光刻胶量产产线。公司目前已有8款高端晶圆光刻胶(其中ArF光刻胶与KrF光刻胶各4款)取得多家国内主流晶圆厂客户的批量订单,即较今年一季度末新增5款,并有数款产品预期在今年年内实现订单转化。公司正积极提升产品交付速度,2026年上半年产品交付量预计显著提升,商业化进程显著加快。测试进展方面,公司已经累计布局40余款高端晶圆光刻胶,近30款产品向客户送样开展验证测试,其中超10款进入加仑样测试阶段。同时,公司还布局了数款配套的BARC、SOC等光刻辅材,商业化落地节奏持续加快。
CMP 抛光液核心竞争优势
全品类产品矩阵:覆盖铜、铜阻挡层、钨、多晶硅、氮化硅、碳化硅衬底等全制程抛光液,同步配套对应清洗液,实现一站式耗材配套交付;
上游原料自主制备:纳米研磨粒子自主研发、规模化自产,摆脱对外购核心粒子依赖,有效管控成本、稳定供货、匹配定制化抛光需求;
验证与交付优势:多款抛光液已通过国内主流存储、逻辑晶圆厂严苛验证并批量供货,适配先进存储、第三代半导体等新兴工艺;
技术协同优势:与公司 CMP 抛光垫形成材料一体化配套研发,可同步匹配客户抛光工艺优化,提升晶圆良率,形成差异化竞争壁垒。
(来自 深交所互动易)
答复时间 2026-06-30 20:45:33
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