晶盛机电大幅拉升 12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线
来源:证券时报网
晶盛机电(300316)26日盘中大幅拉升,一度涨超15%,创近2年新高。
晶盛机电今日发布消息称,9月26日,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,浙江晶瑞SuperSiC真正实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化,标志着晶盛在全球SiC衬底技术从并跑向领跑迈进,迈入高效智造新阶段。
据悉,SiC是第三代半导体材料的核心代表,因其耐高压、高频、高效等特性,广泛应用于新能源汽车、智能电网、5G通信等重点行业。同时,在AR设备、CoWoS先进封装中间基板等新兴应用领域,SiC也正逐步成为推动技术突破的关键材料。相较于8英寸产品,12英寸产品单片晶圆芯片产出量增加约2.5倍,能够在大规模生产中显著减少长晶、加工、抛光等环节的单位成本,是大幅降低下游应用成本的关键路径。
公司表示,浙江晶瑞SuperSiC此次贯通的中试线,覆盖了晶体加工,切割,减薄,倒角,研磨,抛光,清洗,检测的全流程工艺,所有环节均采用国产设备与自主技术,高精密减薄机、倒角机、双面精密研磨机等核心加工设备更是由公司历时多年自研攻关完成,性能指标达到行业领先水平。自此,晶盛机电正式形成了12英寸SiC衬底从装备到材料的完整闭环,彻底解决了关键装备“卡脖子”风险,为下游产业提供了成本与效率的新基准。
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