张总你好,请问目前我们公司是否可以制造纳米电机?
AI回答:
技术基础
赛微电子在MEMS领域掌握了一系列先进的制造技术,包括深反应离子刻蚀(DRIE)、晶圆键合、硅通孔(TSV)等。这些技术是制造微型机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)的关键工艺,能够实现高精度的微结构加工和三维结构构建。例如,DRIE技术可以实现高纵横比和垂直侧壁的刻蚀,这对于制造纳米电机中的微小机械部件至关重要。
赛微电子:
您好,公司的MEMS产品线宽为微米级;严格意义上的“纳米电机”(所有关键特征尺寸均在100纳米以下)主要使用NEMS技术制造,而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。谢谢关注!
您好,公司的MEMS产品线宽为微米级;严格意义上的“纳米电机”(所有关键特征尺寸均在100纳米以下)主要使用NEMS技术制造,而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。谢谢关注!
(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-06-30 11:30:12
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