公司哪些半导体设备用于环绕式栅极gaa和finfet先进工艺？
国林科技：
尊敬的投资者，您好。公司的臭氧气体发生器，臭氧水发生器以及氨水发生器等设备均可以用于该工艺，特别是先进前道工艺的前端与后端处理中。感谢您的关注。
尊敬的投资者，您好。公司的臭氧气体发生器，臭氧水发生器以及氨水发生器等设备均可以用于该工艺，特别是先进前道工艺的前端与后端处理中。感谢您的关注。
（来自 深交所互动易）
答复时间 2025-08-11 08:39:40
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