据了解,泰和科技的光刻胶材料特性,可形成针对性的显影工艺优化方案,核心围绕抑制分子缠结、强化缺陷控制展开,可适当提高曝光后烘烤温度,利用分子缠结的热敏感性,促使显影前光刻胶层内可能形成的预团聚体解离,减少后续显影时30纳米级大尺寸缠结颗粒的生成 ,从源头降低缺陷风险,请问是否属实,谢谢!
泰和科技:
尊敬的投资者您好,泰和科技光刻胶材料相关产品暂未进行有关测试,相关信息请以泰和科技公开披露的信息为准。请注意投资风险,感谢您的关注!
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(来自 深交所互动易)
答复时间 2025-10-30 11:45:40
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