截至9月17日收盘，光刻机概念上涨3.30%，位居概念板块涨幅第1，板块内，33股上涨，波长光电20%涨停，永新光学、凯美特气等涨停，苏大维格、鸿利智汇、赛微电子等涨幅居前，分别上涨14.66%、11.40%、8.38%。跌幅居前的有沃格光电、洪田股份、大族激光等，分别下跌4.58%、1.26%、0.99%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入17.94亿元，其中，27股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是凯美特气，今日主力资金净流入7.72亿元，净流入资金居前的还有波长光电、张江高科、赛微电子等，主力资金分别净流入3.59亿元、1.29亿元、1.18亿元。

　　资金流入比率方面，凯美特气、永新光学、波长光电等流入比率居前，主力资金净流入率分别为48.64%、43.51%、31.66%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜