截至9月23日收盘，光刻机概念上涨0.72%，位居概念板块涨幅第3，板块内，19股上涨，波长光电20%涨停，张江高科、凯美特气等涨停，海立股份、广立微、珂玛科技等涨幅居前，分别上涨6.32%、5.03%、4.86%。跌幅居前的有赛微电子、美埃科技、苏大维格等，分别下跌4.87%、4.00%、3.71%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流出13.84亿元，其中，9股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超千万元，净流入资金居首的是波长光电，今日主力资金净流入9482.10万元，净流入资金居前的还有芯碁微装、华辰装备、富乐德等，主力资金分别净流入7858.48万元、4188.70万元、3701.33万元。

　　资金流入比率方面，富乐德、华辰装备、芯碁微装等流入比率居前，主力资金净流入率分别为6.78%、6.09%、5.32%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜