今年5月公司与浙大极端光学技术与仪器全国重点实验室签约共建联合实验室，双方正式签署合作协议，就高端光学器件的合作研究展开实质性的讨论，包括用于半导体检测的剪切干涉仪、大数值孔径显微物镜以及先进制程光刻关键光学元件等。
请问“先进制程光刻光学元件”具体包括哪些方面的产品？
波长光电：
您好！公司与浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室共建“联合实验室”，是公司坚持自主研发和合作研发相结合的具体措施之一，合作方向以公司发布的信息为准，另研发具有不确定性，请注意投资风险，感谢您的关注！
您好！公司与浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室共建“联合实验室”，是公司坚持自主研发和合作研发相结合的具体措施之一，合作方向以公司发布的信息为准，另研发具有不确定性，请注意投资风险，感谢您的关注！
（来自 深交所互动易）
答复时间 2025-09-29 08:37:40
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