公告日期：2025-05-20

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广东信达律师事务所

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2024 年年度股东大会的

法律意见书

信达会字（2025）第 156 号
致：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

广东信达律师事务所（以下简称“本所”）接受矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）委托，指派律师出席并见证公司 2024 年年度股东大会（以下简称“本次股东大会”），并依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规定，就本次股东大会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果等事项出具本法律意见书。

为出具本法律意见书，本所律师审查了公司本次股东大会的有关文件和材料。本所律师得到公司如下保证，即其已提供了本所律师认为出具本法律意见书所必需的材料，所提供的原始材料、副本、复印件等材料、口头证言均符合真实、准确、完整的要求，有关副本、复印件材料与正本原始材料一致。

为出具本法律意见书，本所律师特作如下声明：

1、在本法律意见书中，本所律师仅对本次股东大会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果是否符合《公司法》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定发表意见，不对会议审议的议案内容以及该等议案所表述的事实或数据的真实性、准确性和完整性发表意见。
2、本所律师无法对网络投票过程进行见证，参与本次股东大会网络投票的股东资格、网络投票结果均由相应的证券交易所交易系统和互联网投票系统予以认证。

3、本所及本所律师依据《证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

4、本所同意将本法律意见书作为本次股东大会的公告材料，随同其他会议文件一并报送有关机构并公告。除此以外，未经本所同意，本法律意见书不得为任何其他人用于任何其他目的。

鉴此，本所律师根据有关法律法规的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出席了本次股东大会，并对本次股东大会召集和召开的有关事实以及公司提供的文件进行了核查验证，现出具法律意见如下：

一、本次股东大会的召集和召开程序

2025 年 4 月 29 日，公司董事会在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）
上刊载了《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司关于召开 2024 年年度股东大会的通知》。该通知载明了会议召开的时间、地点、方式，以及会议召集人和股权登记日等内容，符合《公司法》等相关法律、法规、规范性文件及《公司章程》
的规定。

2025 年 5 月 19 日下午 14 点 30 分，公司本次股东大会的现场会议在广东省
深圳市龙岗区龙城街道腾飞路 9 号创投大厦三楼三号会议室召开，会议实际召开的时间、地点符合会议通知及相关公告所载明的内容。

根据本次股东大会的会议通知及相关公告，本次股东大会的网络投票时间为：
通过深圳证券交易所交易系统进行网络投票的具体时间为 2025 年 5 月 19 日的
交易时间，即 9:15-9:25、9:30-11:30 和 13:00-15:00；通过深圳证券交易所互联网
投票系统投票的具体时间为 2025 年 5 月 19 日 9:15 至 15:00 期间的任意时间。

本所律师认……
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