公告日期：2026-04-22

招商证券股份有限公司

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025 年度募集资金存放与使用情况的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐机构，根据《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份 2025 年度募集资金存放与使用情况进行了专项核查，并出具本核查意见，具体情况如下：

一、公司募集资金的基本情况

（一）实际募集资金金额和资金到账时间

经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138 号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票 10,431,819股，每股面值 1.00 元，发行价格为人民币 52.28 元/股。本次募集资金总额为人民币 54,537.55 万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币 46,352.87万元。

上述募集资金已于 2025 年 3 月 17 日划至公司募集资金专项账户，容诚会计
师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015 号）。

（二）募集资金使用和节余情况

项目 金额（万元）

募集资金总额 54,537.55

减：发行费用 8,184.68

募集资金净额 46,352.87

加：尚未置换的发行费用 1,742.49

加：尚未支付的发行费用 2,062.19

募集资金专户初始到账金额 50,157.55

减：本期项目投入 5,780.92

减：置换预先投入募投项目的自筹资金 5,436.99

减：置换预先支付发行费用的自筹资金 1,742.49

减：支付的发行费用 2,062.19

减：现金管理余额 31,600.00

加：利息收入 322.04

截至 2025 年 12 月 31 日募集资金专户余额 3,857.00

注：以上数据如有尾差，为四舍五入所致，下同。

二、募集资金存放和管理情况

（一）募集资金管理情况

为了规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者权益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作》等法律、法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，制定了《募集资金使用管理制度》，对募集资金的存放和使用进行专户管理。

公司及保荐机构分别与招商银行深圳分行、浦发银行深圳分行、农业银行深圳龙岗支行、中国民生银行深圳分行签署了《募集资金三方监管协议》（因部分支行无签署权限，故由其上级分行或支行与公司及保荐机……
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