公告日期：2026-04-22

证券代码：301629 证券简称：矽电股份 公告编号：2026-016

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

关于 2026 年度董事、高级管理人员薪酬方案的公告

本公司及董事会全体成员保证信息披露内容的真实、准确和完整，没有虚 假记载、误导性陈述或重大遗漏。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）于 2026 年 4
月 20 日召开第三届董事会第三次会议，分别审议了《关于确认董事 2025 年度薪酬及 2026 年度薪酬方案的议案》及《关于确认高级管理人员 2025 年度薪酬及2026 年度薪酬方案的议案》，其中，因关联董事回避表决，《关于确认董事 2025年度薪酬及 2026 年度薪酬方案的议案》直接提交 2025 年年度股东会审议。现将具体情况公告如下：

一、 2026 年度董事、高级管理人员薪酬方案

为进一步完善公司激励约束机制，有效调动公司董事、高级管理人员的工作积极性，提高公司经营管理水平，确保公司战略目标的实现，经公司董事会薪酬与考核委员会提议，同时结合公司实际情况和行业薪酬水平，制定了公司 2026年度董事及高级管理人员薪酬方案。方案具体内容如下：

(一)适用对象

公司董事及高级管理人员

(二)适用期限

2026 年 1 月 1 日至 2026 年 12 月 31 日。

(三)薪酬标准

1. 董事薪酬标准

（1） 不在公司担任除董事以外职务的非独立董事，公司不向其发放津贴。

（2） 在公司担任除董事以外其他职务（包括法定代表人）的非独立董事，公司不向其另行发放津贴，根据其在公司担任的具体职务领取相应的岗位薪酬，并由基本薪酬、绩效薪酬和中长期激励收入等组成，其中绩效薪酬占比原则上不低于基本薪酬与绩效薪酬总额的 50%。

（3） 公司于2025年10月24日召开的第二届董事会第二十次会议、于2025
年 11 月 14 日召开的 2025 年第一次临时股东会，审议通过了《关于公司第三届
董事会董事及高级管理人员薪酬方案的议案》，确定公司第三届董事会独立董事年度津贴为 12 万（税前）/年/人。本公司独立董事除领取独立董事津贴外，不享有其他福利待遇。

2. 高级管理人员薪酬标准

公司高级管理人员的薪酬由基本薪酬、绩效薪酬和中长期激励收入等组成。绩效薪酬占比原则上不低于基本薪酬与绩效薪酬总额的 50%。

公司高级管理人员的基本薪酬根据其所任职位的价值、责任、能力、市场薪资行情等因素确定，按月发放；绩效薪酬以公司年度目标绩效奖金为基础，与公司年度经营绩效相挂钩，年终根据当年考核结果统算兑付，按年发放。公司确定一定比例的绩效薪酬在年度报告披露和绩效评价后支付，绩效评价应当依据经审计的财务数据开展。

(四)其他说明

1. 公司董事、高级管理人员的薪酬、津贴均为税前金额，由公司按照国家有关规定代扣代缴个人所得税。

2. 公司高级管理人员因换届、改选、任期内辞职等原因离任的，按其实际任期计算并予以发放。

3. 本方案未尽事宜，按照国家法律法规、部门规章、规范性文件、《公司章程》和公司《董事、高级管理人员薪酬管理制度》等规定执行。

二、 备查文件

1. 《公司第三届董事会第三次会议决议》；

2. 《公司第三届董事会薪酬与考核委员会第一次会议决议》；
3. 深交所要求的其他文件。
特此公告。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司董事会
2026 年 4 月 22 日

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