公告日期：2026-03-21

股票代码：600641 股票简称：先导基电
上海先导基电科技股份有限公司

2026 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金使
用可行性分析报告

二〇二六年三月

上海先导基电科技股份有限公司拟向特定对象发行 A 股股票募集资金。公司董事会编制了本次向特定对象发行A股股票募集资金使用的可行性分析报告。
本可行性分析报告中如无特别说明，相关用语具有与《上海先导基电科技股份有限公司 2026 年度向特定对象发行 A 股股票预案》中相同的含义。

一、本次募集资金使用计划

本次向特定对象发行股票的募集资金总额不超过 351,000 万元（含本数），扣除发行费用后的募集资金净额将全部用于以下项目：

单位：万元

序号 募集资金投资项目 项目投资总额 拟使用募集资金

1 半导体光学部件研发及产业化项目 153,750.00 153,750.00

2 半导体精密零部件和子系统研发及产业 97,750.00 97,750.00

化项目

3 高端量测装备与生命科学仪器研发及产 89,187.00 89,000.00

业化项目

4 铋材料业务升级改造项目 10,837.98 10,500.00

合计 351,524.98 351,000.00

二、本次募集资金使用的必要性和可行性分析

（一）半导体光学部件研发及产业化项目

1、项目概况

本项目实施主体为公司全资子公司上海万业元创科技有限公司及其子公司，项目实施地点位于浙江省衢州市、上海市、北京市，总投资 153,750 万元，其中募集资金拟投入金额为 153,750 万元。本项目围绕高端光学部件领域进行布局，加大对核心技术与高端产品研发的投入，重点突破高端光学技术，推进高端光学部件、超高压汞灯、短弧氙灯等离子光源关键技术攻关，并建设产业化配套能力。通过引进高端光学加工设备、镀膜设备、精密机械加工设备及测试平台等，进一步提升高端光学部件与特种光源产品的工程化能力和规模化生产能力。

2、项目的必要性和可行性

（1）项目的必要性

①半导体光学领域高精尖关键技术长期受到国际技术封锁

半导体光学是先进集成电路制造体系的重要技术基础，是半导体制造、量测检测等环节亟需的重要基础技术。目前，在高端光学技术领域的相关关键技术长期由少数国际企业掌握，并受到严格技术管制与产业限制，相关关键技术与核心装备长期处于技术封锁状态。

本项目通过开展高端光学部件、超高压汞灯、短弧氙灯等离子光源关键技术研发，并推进相关产品的产业化建设，有助于提升公司在高端光学部件与特种光源领域的技术能力，为国内先进集成电路制造体系提供重要技术支撑。

②高端光学技术是先进制造领域的重要共性基础技术

随着先进制造技术体系不断发展，制造过程正持续向更高精度、更高稳定性及更复杂工艺方向演进，高端光学技术在先进制造工艺中的核心地位不断提升。特别是在复杂光学子系统以及高稳定光学控制等技术领域，高端光学技术已成为实现先进制造能力的重要技术基础。同时，特种光源在量测检测、精密加工及材料处理等关键工艺环节中的作用日益增强，是保障先进制造装备性能的重要技术支撑。

本项目围绕高端光学部件与特种光源关键技术开展研发与产业化建设，将进一步强化相关核心技术研发能力，推动关键技术工程化与规模化应用，为我国高端装备产业技术能力提升提供重要支撑。

③先进制造产业发展推动高端光学领域的需求持续增长

随着全球集成电路、人工智能、新材料及显示等战略性产业的持续发展，先进制造技术不断向更高精度、更高稳定性及更复杂工艺方向演进，对先进制造装备性能提出更高要求。高端光学部件与特种光源作为先进制造装备的重要技术基础，其性能水平直接影响装备的成像精度、测量能力及加工稳定性，随着先进制造产业规模不断扩大，高端光学部件与特种光源的应用需求持续增长。……
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