公告日期：2026-04-30

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-020
上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于 2026 年度“提质增效重回报”行动方案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为贯彻国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，推动公司高质量发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）制定了 2026 年度“提质增效重回报”行动方案。具体方案如下：

一、聚焦主业提质增效，加快发展新质生产力

公司业务目前 80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，经过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2025 年，公司单片式湿法清洗设备 S300 经认定获得“专利密集型产品认定
证书”；公司 12 英寸集成电路单片式高温硫酸清洗设备质量攻关项目经评定，获上海市重点产品质量攻关成果二等奖；公司 12 英寸集成电路单片式清洗设备成功入选 2025 年度长三角区域创新产品应用示范案例；合肥至微半导体荣获合肥市“无废工厂”称号；经上海市经济和信息化委员会评选，公司入选“2024 年上海市制造业单项冠军企业”；经上海市集成电路行业协会评定，公司位列上海市集成电路设备业（本土）销售前五名；公司还荣获上海市产业技术创新促进会颁发的“上海硬核科技企业 TOP100（知识产权榜 TOP50）”、上海市知识产权局
颁发的“高价值专利培育中心”荣誉称号。

公司作为高新技术企业并担任上海产业技术创新促进会理事单位，始终秉持创新发展的战略核心，一直以来积极主动地在经营战略、工艺、技术、产品、组织等方面不断进行创新。目前，公司及子公司已有九家企业获得“高新技术企业”认定，其中八家同时也是省市级“专精特新”企业，两家同时也是国家级专精特新“小巨人”企业。

2026 年，公司将在延续“关注核心工艺，服务关键制程”战略定位的基础上，进一步将资源聚焦于集成电路核心主业，以更加审慎而坚定的经营策略应对复杂多变的外部环境。公司管理层判断，国际地缘动荡仍将是影响全球半导体产业链平稳运行的不可回避因素，国内集成电路产业在先进制程领域将继续面临来自外部的技术限制与供应壁垒。与此同时，人工智能算力需求的爆发式增长正深刻重塑半导体产业的底层逻辑——算力提升对先进制程产能的迫切需求已成为产业各方的战略共识，这为具备技术储备和国产替代能力的本土设备与材料企业创造了关键的历史性窗口。

在上述背景下，公司 2026 年度的经营目标为：新增订单区间 45 至 55 亿元，
其中制程设备订单目标区间为 8 至 12 亿元。年度重点任务聚焦三大方向：一是推动高阶清洗设备的批量放量，实现从客户验证向规模化交付的关键跃迁；二是全面加强应收账款回收与经营性现金流管理，改善财务结构的健康度；三是推进存量资产提效，提升资源配置效率与投入产出比。2025 年度公司新增订单仅 25.34亿元，也是在供应链扰动和用户进度放缓背景下的近几年最低水位。公司有信心
在 2026 年重新回到增长通道。2026 年一季度订单 19.77 亿是一个良好的开端。
围绕上述目标和任务，公司 2026 年度将重点推进以下七项经营管理举措：
第一，强化以客户为中心的导向，以客户需求牵引产品研发制造，优化产品的交付和服务体系，加强各制程设备业务覆盖的深度与广度，推进先进制程工艺验证并在重点客户处实现放量。当前，湿法清洗设备的中高阶市场仍由日本供应商占据主导地位，而地缘政治风险加剧了供应链的潜在风险。公司将以全面替代日系各工艺湿法设备为战略目标，集中力量突破高阶机型在量产稳定性、工艺一致性和产能效率方面的最后瓶颈。2026 年，公司将加强销售、研发、生产、交付、
服务等职能的高效协同，紧紧围绕客户需求，优先保障高温硫酸（SPM）、FIN ETCH、单片磷酸等已获验证机台的批量交付，同时加速推进下一代高阶平台的客户导入进程，在重点客户处实现从"验证通过"到……
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