公告日期：2026-04-30

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025 年度董事会工作报告

2025 年度公司董事会严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上海证券交易所股票上市规则》等法律法规和《公司章程》、各议事规则等规定和要求，认真履行股东会赋予的职责，规范运作、科学决策，推动公司各项业务顺利有序开展，使公司保持良好的发展态势，有效地保障了公司和全体股东的利益。

现将公司董事会 2025 年度工作情况汇报如下：

（一）聚焦主业，聚力前行

报告期内，公司持续聚焦集成电路核心主业，致力于为晶圆制造客户提供从建设投产到稳定运营全生命周期的产品与服务组合。公司业务组合在数个头部客户处已实现战略合作落地，能够为同一用户提供从系统到设备、从材料到服务的
整体解决方案，业务组合为用户 COC（Cost of Consumption）和 COO（Cost of
Ownership）的降低作出了实质贡献。

在制程设备板块，公司旗下至微科技持续保持国内湿法清洗设备领域的领先地位。报告期内，湿法设备在 28 纳米节点全部工艺机台的开发均已完成，且全系列机台均已获得客户订单；在更先进制程节点，公司亦取得了部分高阶工艺设备订单，尤其在高温硫酸（SPM）、FINETCH、单片磷酸等此前由国际厂商垄断的机台领域，交付进度与验证进展处于国内领先水平。公司 2022 年推出的高温硫酸 SPM 设备，作为国产首台进入大规模量产线的 12 英寸硫酸清洗设备，截至报告期单机累计产量超过 100 万片次。此外，公司新开发的 S300-D 湿法设备平台专为先进制程需求设计，覆盖 SPM、背面蚀刻、预清洗、斜边处理等关键工艺，其每小时处理晶圆数量（WPH）较上一代平台提升 30%，在腔体结构优化与流场控制精度方面实现进一步提升。

在高纯工艺系统及支持设备板块，公司继续保持国内龙头地位。报告期内，公司成为国内高纯工艺系统集成领域的龙头企业，据公司统计，截止 2025 年，中国大陆主流 12 寸晶圆厂 49 个项目的中标结果中，公司特气设备及系统市占率
已达 46.9%，化学品设备及系统市占率达 29%。公司自主品牌 SAFETRON 系列支持设备业务量已接近系统集成业务总量的 40%，各类高纯特气设备和高纯化学品设备累计出货超过 4.9 万台，有效改变了此前由境外厂商垄断的市场格局。公司在系统集成业务中能够实现 ppt（万亿分之一）级的不纯物控制，核心技术能力达到行业先进水平，个别功能指标在用户应用场景中已超越国际品牌同类产品。
在电子材料及专业服务板块，公司加速在电子大宗气体领域的布局。报告期内，由公司投资设计并建设运营的国内首座完全国产化、满足 12 英寸晶圆 28
纳米制程要求的半导体级大宗气体供应工厂持续稳定运行，成功打破半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现该制程节点国内自主大宗气站零的突破。公司第二座大宗气站于报告期内投入运营并已开始为客户提供供气服务，随着客户产能爬升，将为公司贡献稳定可观的运营收入。TGM、TCM 驻厂服务有序开展，为晶圆厂提供一整套的气体、化学品综合服务；部分腔体部件清洗已经通过用户端验证并稳步上量。2025 年度，公司来自电子材料领域的收入达 2.69 亿元，较上年同期实现显著增长。

（二）筑牢内控根基，提升治理效能

公司始终将合规经营与稳健发展置于首位。报告期内，公司持续推进治理机制建设，根据《中华人民共和国公司法》《上市公司章程指引》和证监会《关于新配套制度规则实施相关过渡期安排》，结合公司的实际情况及需求，公司不再设置监事会，监事会的职权由董事会审计委员会行使，并废止了《监事会议事规则》，同步修订了公司多项制度。公司密切关注国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》、中国证监会《上市公司治理准则》等相关法律法规，全面强化内部控制体系建设，持续提升公司治理水平，积极响应监管部门“提高上市公司质量”的要求，推动公司高质量发展。报告期内，公司主动开展了公司内部自查，对可能存在的风险环节与薄弱点进行了专项排查。对于发现的问题，我们不回避、不隐瞒，报告期内，通过主动自查、自觉纠偏进行了会计差错更正，并从制度、流程、执行与监督等多个层面推动优化完善。公司坚决落实持续改进的机制，进一步筑牢公司合规运作的根基，提升风险防范能力，切实保护投资者合法权益，为公司长期健康、高质量的发展奠定更加坚实的基础。

在治理结构层面，公司持续完善内部管理制度与流程规范，强化合规管理与
风险预警机制，确保各项经营活动在可控范围内稳步推进。公司注重以制度化的方式提升治理水平，通过优化决策流程、加强过程监督、完善信息披露等……
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