公告日期：2026-06-04

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-061
中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司 2025 年限制性股票激励计划

第一个归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

限制性股票拟归属数量：353.2113 万股

归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票

一、本次股权激励计划批准及实施情况

（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

1、本次股权激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：授予的限制性股票数量总量为 1200 万股，约占公司 2025
年限制性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额
62,236.3735 万股的 1.9281%。其中首次授予不超过 1000 万股，预留 200 万股。
（3）授予价格：66.68 元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股 66.68 元的价格购买公司向激励对象增发的公司 A 股普通股股票。

（4）激励人数：本激励计划首次授予的激励对象总人数为 2,458 人，包括在公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。

（5）本激励计划授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

归属安排 归属时间 归属权益数量占授

予权益总量的比例

首次授予的限制性 自首次授予之日起12 个月后的首个交 25%

股票第一个归属期 易日至首次授予之日起 24 个月内的最

后一个交易日止

首次授予的限制性 自首次授予之日起24 个月后的首个交

股票第二个归属期 易日至首次授予之日起 36 个月内的最 25%

后一个交易日止

首次授予的限制性 自首次授予之日起36 个月后的首个交

股票第三个归属期 易日至首次授予之日起 48 个月内的最 25%

后一个交易日止

首次授予的限制性 自首次授予之日起48 个月后的首个交

股票第四个归属期 易日至首次授予之日起 60 个月内的最 25%

后一个交易日止

（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

①激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足 12 个月以上的任职期
限。

②公司层面业绩考核要求

本激励计划首次授予的限制性股票考核年度为 2025-2028 四个会计年度，每
个会计年度考核一次。以公司 2024 年度的营业收入为基数，根据各考核年度的 营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩 考核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

归属期 对应考 该考核年度使用的 业绩考核目标 公司层面

核年度 营业收入 归属比例

X≧对标企业算术平 100%

均增长率

第一个 对标企业算术平均增

归属期 2025 2025 年营业收入 长率*0.8≦X<对标企 80%

业算术平均增长率

X<对标企业算术平 ……
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