公告日期：2026-06-04

中微半导体设备（上海）股份有限公司

董事会薪酬与考核委员会关于 2023 年限制性股票激励计划
第三个归属期及 2025 年限制性股票激励计划

第一个归属期归属名单的核查意见

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）董事会薪酬与考核委员会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规定，对公司 2023 年限制性股票激励计划第三个归属期及2025 年限制性股票激励计划第一个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：

公司2023年限制性股票激励计划第三个归属期本次拟归属的1152名激励对象及公司 2025 年限制性股票第一个归属期本次拟归属的 2338 名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合 2023 年激励计划及 2025 年激励计划规定的激励对象范围，其作为公司限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

董事会薪酬与考核委员会同意，为 2023 年限制性股票激励计划本次符合条件的 1152 名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为 171.7009 万股；为 2025 年限制性股票激励计划本次符合条件的 2338 名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为 353.2113 万股。

上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

中微半导体设备（上海）股份有限公司
董事会薪酬与考核委员会
2026 年 6 月 3 日

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