公告日期：2026-06-25

上海市锦天城律师事务所

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之向特定对
象发行股票募集配套资金

发行过程和认购对象合规性的

法律意见书

地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 11、12 层

电话：021-20511000 传真：021-20511999

邮编：200120

上海市锦天城律师事务所

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之向特定对象发
行股票募集配套资金发行过程和认购对象合规性的

法律意见书

案号：01F20254688
致：中微半导体设备（上海）股份有限公司

上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”“发行人”或“中微公司”）的委托，并根据上市公司与本所签订的《法律服务委托协议》，作为上市公司本次发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金事项（以下简称“本次交易”）的特聘专项法律顾问。

本所已于 2026 年 4 月 23 日出具了《上海市锦天城律师事务所关于中微半导
体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之法
律意见书》（以下简称“《法律意见书》”）；于 2026 年 5 月 29 日出具了《上
海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金标的资产过户情况之法律意见书》；于 2026 年6 月 22 日出具了《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金实施情况之法律意见书》。
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司证券发行注册管理办法》（以下简称“《注册管理办法》”）、《证券发行与承销管理办法》（以下简称“《发行承销管理办法》”）和《上海证券交易所上市公司证券发行与承销业务实施细则》（以下简称“《发行承销实施细则》”）等法律、法规及其他规范性文件的规定，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，本所现就本次交易项下向特定投资者发行 A 股股份募集配套资金（以下简称“本次发行”）的发行过程和认购对象合规性进行查验，并在此基础上出
具《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金之向特定对象发行股票募集配套资金发行过程和认购对象合规性的法律意见书》（以下简称“本法律意见书”）。

声明事项

一、本所及本所经办律师依据《中华人民共和国证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

二、本所律师对本法律意见书所涉及有关事实的了解和判断，最终依赖于交易方向本所提供的文件、资料及所作陈述与说明，在出具本法律意见书之前，委托人及相关交易方已向本所及本所律师保证其所提供的文件、资料及所作陈述与说明的真实性、完整性和准确性，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏；文件资料为副本、复印件者，其内容均与正本或原件相符；提交给本所的各项文件的签署人均具有完全的民事行为能力，且签署行为已获得恰当、有效的授权。在调查过程中，对于本所律师认为出具本法律意见书至关重要的文件，本所律师已对该等文件的原件进行了核查。本所律师对于与出具本法律意见书至关重要而又无法得到独立证据支持的事实，依赖有关政府部门、上市公司或其他单位出具的证明文件或相关专业机构的报告发表法律意见。

三、本法律意见书仅供上市公司为本次交易之目的使用，未经本所同意，不得用作任何其他目的。

四、本所同意将本法律意见书作为上市公司本次交易所必备的法律文件，随其他材料一起披露，并依法对所出具的法律意见承担相应的法律责任。

五、除非上下文另有说明，本法律意见书中所使用的简称与《法律意见书》中的简称具有相同含义；……
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提示：本网不保证其真实性和客观性，一切有关该股的有效信息，以交易所的公告为准，敬请投资者注意风险。