公告日期：2026-06-25

附件一

新增注册资本实收情况明细表

截至2026年6月17日止

中微半导体设备(上海)股份有限公司 货币单位：人民币元

本期认缴注册资本 注册资本实收情况

股东名称 其中：股本

金额 占注册资本 货币 合计

总额比例 (人民币) 金额 占注册资本总额比例

境内上市人民币普通股 A 股持有人 5,156,765.00 0.53% 5,156,765.00 5,156,765.00 5,156,765.00 0.53%

附件二

注册资本和股本变更前后对照表

截至2026年6月17日止

中微半导体设备(上海)股份有限公司 货币单位：人民币元

注册资本总额 股本

变更前 变更后 变更前 变更后

股东名称 其中：货币出资

占注册 本次增加额 占注册

金额 出资比例 金额 出资比例 金额 资本总额 金额 资本总 占注册资
比例 额比例 金额 本总额比
……
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