财报显示，中微公司2025年上半年实现营业收入49.61亿元，同比增长43.88%；归母净利润7.06亿元，同比增长36.62%；扣非净利润5.39亿元，同比增长11.49%。

　　关于业绩变化，中微公司在公告中表示，上半年公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

　　单季度来看，中微公司2025年第二季度营业收入27.87亿元，环比增长28.25%；归母净利润3.93亿元，环比增长25.47%；扣非净利润2.40亿元。

　　今年上半年，中微公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资，于2025年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约1.68亿元，较2024年上半年亏损的0.08亿元增加约1.76亿元。

　　经营活动现金流净额本期为2.03亿元，上年同期为3.82亿元，同比减少46.87%。对此，中微公司在公告中表示，变化原因主要系本期经营规模持续扩大，需要的营运资金扩大。

　　产品销售结构来看，报告期内，收入占比第一的产品为刻蚀设备，销售约37.81亿元，同比增长约40.12%。第二为LPCVD设备，销售约1.99亿元，同比增长约608.19%。产品结构向高端化、高增长薄膜设备拓展。

　　报告期研发投入合计14.92亿元，较上年同期增长53.70%，研发投入总额占营业收入比例为30.07%，较上年同期增加1.92个百分点。

　　中微公司表示，目前其在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。

　　报告期研发人员的数量为1321人，占公司总人数的比例为50.08%，较上年同期的46.38%上升3.70个百分点，研发人员平均薪酬为31.98万元，较上年同期增长2.56万元。

　　截至2025年6月30日，公司已申请3038项专利，其中发明专利2507项；已获授权专利1901项，其中发明专利1593项。

　　数码产业蓬勃发展，推动半导体设备行业快速发展，中国大陆半导体设备市场规模占比逐年提升。中微公司作为国内外半导体高端设备头部企业，产品持续获得海内外客户认可，在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等领域取得突破，行业地位稳步提升。

　　截至今年上半年，中微公司CCP刻蚀设备累计装机量超过4500个反应台，较2024年同期增长超过900个反应台。其中，双反应台刻蚀产品持续获得批量订单，截至2025年上半年累计装机突破了3300个反应台。单反应台产品近年来在关键工艺取得持续突破，截至 2025 年上半年累计装机接近1200个反应台。

　　在逻辑芯片制造方面，中微公司开发的12英寸高端刻蚀设备持续获得国际国内知名客户的订单，已经在从65至5纳米及更先进技术结点大量量产。针对5纳米及以下更严苛的工艺要求，公司正积极研发下一代机型，以实现更高的刻蚀选择比和均匀性控制，以及达到更稳定的量产表现。

　　在存储芯片制造环节，中微公司的等离子体刻蚀设备已大量用于先进三维闪存和动态随机存储器件的量产。

　　此外，中微公司下一代硅基氮化镓功率器件用MOCVD设备正按计划顺利开发。该设备兼容6 英寸与8英寸工艺，并在厚度及组分均匀性、外延片表面颗粒控制水平、自动化传输等方面实现了性能提升。用于碳化硅功率器件外延生产的设备正在开发中。

　　中微产业化基地建设项目累计投入26.50亿元，投入进度83.59%。中微临港总部和研发中心项目累计投入26.22亿元，投入进度69.92%。高端半导体设备扩产升级项目累计投入4亿元，已结项。

　　截至8月28日收盘，中微公司股价报225.50元/股，总市值1411.96亿元。