公告日期：2026-03-31

2025 年度募集资金存放、管理与使用情况专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者
重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
一 募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文
《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司首次公开发行股票注册的批
复》，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准向境内投资者
首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款
以人民币缴足，计人民币1,551,635,358.24元，扣除承销及保荐费用共计人民币
87,828,416.48元后，实际收到募集资金计人民币1,463,806,941.76元，再扣除发
行中介及其他发行费用人民币合计18,104,149.00元后，实际募集资金净额为人民
币1,445,702,792.76元(以下简称“募集资金A”)，上述资金于2019年7月16日到
位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道
中天验字(2019)第0411号验资报告。

根据中国证券监督管理委员会于2021年3月3日签发的证监许可[2021]645号文
《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票注册的批
复》，本公司获准向特定对象发行不超过80,229,335股人民币普通股A股股票，
每 股 发 行 价 格 为 人 民 币 102.29 元 ， 股 款 以 人 民 币 缴 足 ， 计 人 民 币
8,206,658,677.15元，扣除承销及保荐费用共计人民币82,066,586.77元(不含增值
税)后，实际收到募集资金计人民币8,124,592,090.38元，再扣除发行中介及其他
发行费用人民币合计6,429,649.24元(不含增值税)后，实际募集资金净额为人民币
8,118,162,441.14 元 ( 以 下 简称“募集资金B”)，上述资金于2021年6月22日到
位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道
中天验字(2021)第0638号验资报告。

截至2025年12月31日，本公司本年度未使用募集资金A，累计已使用募集资金A
金额为人民币1,324,916,047.09元，累计收到募集资金A利息收入扣减手续费净额
为人民币93,838,752.29元，募投项目节余资金转出用于永久补充流动资金为人民
币44,250,636.04元，募集资金A余额为人民币188,479,010.92元，其中用于现金
管理金额为人民币188,276,654.57元。

截 至 2025 年 12 月 31 日 ， 本 公 司 本 年 度 使 用 募 集 资 金 B 金 额 为 人 民 币
1,751,150,385.79元，累计已使用募集资金B金额为人民币6,807,931,490.31元，
累计收到募集资金B利息收入扣减手续费净额为人民币448,636,757.17元，募集
资金B余额为人民币1,763,090,478.75元，其中用于现金管理金额为人民币
1,407,873,941.19元。

2025 年度募集资金存放、管理与使用情况专项报告

一 募集资金基本情况(续)

截至2025年12月31日，本公司募集资金A专户余额为人民币202,356.35元(含募集
资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下：

单位：人民币元
项目 金额

募集资金A专户年初余额 202,811.36
加：年初用于现金管理金额 186,529,548.07

募集资金A年初余额 186,732,359.43

加：募集资金利息收入扣减手续费净额 1……
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