公告日期：2026-03-31

国泰海通证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2019 年度首次公开发行股票并在科创板上市和 2020 年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等有关法律法规和规范性文件的要求，就中微公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，并发表如下核查意见：

一、募集资金基本情况

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕1168 号）核准，公司首次公开发行股票 53,486,224 股，每股发行价格为人民币 29.01 元，募集资金总额为人民币 155,163.54 万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币144,570.28 万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2019〕第 0411 号《验资报告》。
上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

2、2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕 645 号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）80,229,335 股，每股发行价格为人民币 102.29元，募集资金总额为人民币 820,665.87 万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币 811,816.24 万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2021〕 第 0638

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目的基本情况

公司募集资金投资项目基本情况如下：

1、2019 年首次公开发行股票

发行名称 2019 年首次公开发行股票

募集资金到账时间 2019 年 7 月 16 日

募集资金总额 155,163.54 万元

募集资金净额 144,570.28 万元

超募资金总额 □不适用

R适用，44,570.28 万元

项目名称 累计投入进度 达到预定可使用
（%） 状态时间

高端半导体设备扩 不适用

产升级项目 99.98%

募集资金使用情况 技术研发中心建设

升级项目 99.98% 不适用

补充流动资金 100% 不适用

回购公司股份 100% 不适用

是否影响募投项目实施 □是 R否

2、2020 年度向特定对象公开发行股票

发行名称 2020 年度向特定对象公开发行股票

募集资金到账时间 2021……
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