公告日期：2026-03-31

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-026
中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司 2022 年限制性股票激励计划

第四个归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

限制性股票拟归属数量：77.0985 万股

归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票

一、本次股权激励计划批准及实施情况

（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

1、本次股权激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：授予的限制性股票数量总量为 400 万股，约占公司 2022 年
限制性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额 61,624.45万股的 0.649%。本次授予为一次性授予，无预留权益。

（3）授予价格：49.2 元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股49.2元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。
（4）激励人数：本激励计划授予的激励对象总人数为 1104 人，包括在公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。
（5）本激励计划授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

归属安排 归属时间 归属权益数量占授

予权益总量的比例

授予的限制性股票 自授予之日起 12 个月后的首个交易

第一个归属期 日至授予之日起 24 个月内的最后一 25%

个交易日止

授予的限制性股票 自授予之日起 24 个月后的首个交易 25%

第二个归属期 日至授予之日起 36 个月内的最后一

个交易日止

授予的限制性股票 自授予之日起 36 个月后的首个交易

第三个归属期 日至授予之日起 48 个月内的最后一 25%

个交易日止

授予的限制性股票 自授予之日起 48 个月后的首个交易

第四个归属期 日至授予之日起 60 个月内的最后一 25%

个交易日止

（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

①激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足 12 个月以上的任职期限。

②公司层面业绩考核要求

本激励计划授予的限制性股票考核年度为 2022-2025 四个会计年度，每个会计年度考核一次。以 2021 年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入定比 2021 年度营业收入的营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的归属批次及公司层面归属比例。假设每个考核年度定比 2021 年度的营业收入增长率为 X，各年度业绩考核目标安排如下表所示：

归属期 对应考核年度 业绩考核目标 公司层面归属比例

X≧20% 100%

第一个归属期 2022 15%≦X<20% 80%

X<15% 0

X≧45% 100%

第二个归属期 2023 35%≦X<45% 80%

X<35% 0

X≧70% ……
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