公告日期：2026-03-31

国泰海通证券股份有限公司

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

2025 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定，对中微公司 2025 年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股 53,486,224 股，每股发行价格为人民币 29.01 元，股款以人民币缴足，计人民币 155,163.54 万元，扣除承销及保荐费用共计人民币 8,782.84 万元后，实际收到募集资金计人民币 146,380.69 万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计 1,810.41 万元后，实际募集资金净额为人民币 144,570.28 万元（以
下简称“首发募集资金”），上述资金于 2019 年 7 月 16 日到位，业经普华永道中
天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第 0411 号验资报告。

2、2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金

中国证券监督管理委员会于 2021 年 3 月 3 日出具证监许可[2021]645 号文
《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批
复》核准了公司向特定对象发行 80,229,335 股人民币普通股 A 股股票。截至 2021

年 6 月 22 日止，公司完成了人民币普通股 A 股 80,229,335 股的发行，每股发行
价格为人民币 102.29 元，股款以人民币缴足，合计人民币 820,665.87 万元，扣除承销及保荐费用共计人民币 8,206.66 万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币 812,459.21 万元，再扣除其他发行费用人民币合计 642.96 万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 811,816.24 万元（以下简称“再融资
募集资金”），上述资金于 2021 年 6 月 22 日到位，业经普华永道中天会计师事务
所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第 0638 号验资报告。

（二）募集资金本年度使用金额及年末余额

1、首次公开发行股票募集资金

截至 2025 年 12 月 31 日，公司募集资金专户余额为人民币 20.24 万元。具
体情况如下：

单位：万元

项目 金额

一、募集资金总额 155,163.54

其中：超募资金金额 44,570.28

减：直接支付发行费用 10,593.26

二、实际收到募集资金金额 144,570.28

减：

以前年度已使用金额 130,061.20

本年度使用金额 -

暂时补流金额 -

现金管理金额 ……
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