公告日期：2026-03-31

中微半导体设备（上海）股份有限公司

董事会审计委员会 2025 年年度履职情况报告

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）董事会审计委员会根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司公司章程》（以下简称“公司章程”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会审计委员会议事规则》（以下简称“审计委员会议事规则”）的规定，在 2025 年度内恪尽职守、认真履职，现将审计委员会 2025 年度的履职情况汇报如下：

一、审计委员会基本情况

公司董事会审计委员会由 2 名独立董事及 1 名董事组成，其中主任委员由具有专业会
计资格的独立董事担任。

二、审计委员会会议召开情况

在 2025 年度内，公司董事会审计委员会根据《公司法》《公司章程》《审计委员会
议事规则》等规定要求，共召开 6 次董事会审计委员会会议及 1 次与外部审计机构单独沟通的会议，对公司的日常关联交易、重大关联交易、定期报告、续聘审计机构、财务报表沟通等事项进行了讨论审议，充分发挥了董事会审计委员会的监督及建议作用。

三、审计委员会相关工作情况

（一）监督及评估外部审计工作

1. 评估外部审计的独立性和专业性

普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“普华永道”）具有从事证券相关业务的资格，严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。

2. 续聘外部审计

鉴于上述原因，经审计委员会审议后，决定向公司董事会提议继续聘请普华永道作为 公司 2025 年度审计机构并签署相关聘用协议。

3. 与外部审计机构讨论和沟通审计范围、审计计划、审计方法及在审计中发现的重大
事项

在 2025 年内，审计委员会与普华永道就审计范围、审计计划、审计方法等事项进行
了充分的讨论与沟通，且在审计期间也未发现在审计中存在其他的重大事项。

4. 监督和评估外部审计机构是否勤勉尽责

审计委员会认为，在 2025 年内，普华永道对公司进行审计期间勤勉尽责，遵循了独
立、客观、公正的职业准则。

（二）指导内部审计工作

在 2025 年度内，审计委员会根据公司内部审计制度，认真审阅了内部审计工作计划
和工作报告，同时督促公司内部审计机构严格按照审计计划执行，在内部审计出现的问题 时与内部审计人员积极沟通并寻找解决方案，提高工作效率。

（三）审阅财务报告

在 2025 年度内，我们认真审阅了公司的财务报告及相关报告，该等报告是真实、完
整和准确的，不存在相关的欺诈、舞弊行为及重大错报的情况，且公司也不存在重大会计 差错调整、重大会计政策及估计变更、涉及重要会计判断的事项以及导致非标准无保留意 见审计报告的事项。

（四）内控制度的有效性

公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关 规定，建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在 2025 年度内，股东会、董事会、 管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保 障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交 易所发布的有关上市公司内部控制的要求。

（五）协调管理层、内部审计部门及相关部门与外部审计机构的沟通

2025 年度内，审计委员会充分听取公司管理层、内部审计等相关部门、外部审计机构
的意见，积极协调财务报告和内控的相关工作，保证 2025 年度财务报告的审计工作、内 部控制审计工作的顺利开展。

四、总体评价

2025 年度内，公司董事会审计委员会依据《公司法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》《公司章程》《审计委员会议事规则》等相关规定，恪尽职守、较好地履行了审计委员会的职责。在 2026 年，审计委员会将继续加强与公司董事会、管理层、内部审计机构及外部审计机构的沟通交流及合作，认真监督和指导公司的内外部审计工作，更好地维护公司及股东的利益。

中微半导体设备（上海）股份有限公司
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