公告日期：2026-03-31

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026 年限制性股票激励计划激励对象名单

一、限制性股票激励计划的分配情况表

姓名 国籍 职务 获授限制性股 占授予限制性 占本激励计划公告
票数量(万股) 股票总数比例 日股本总额比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员

尹志尧 中国 董事长、总经理、 10.0000 1.2195% 0.0160%

核心技术人员

丛海 新加坡 董事、副总经理、 8.6000 1.0488% 0.0137%

核心技术人员

陶珩 中国 董事、副总经理、 6.0000 0.7317% 0.0096%

核心技术人员

陈伟文 中国香港 副总经理、财务负 5.1000 0.6220% 0.0081%

责人

何奕 中国 副总经理 3.9000 0.4756% 0.0062%

姜银鑫 中国 副总经理 4.0000 0.4878% 0.0064%

靳巨 美国 副总经理 5.4000 0.6585% 0.0086%

刘方 中国 副总经理、董事会 3.3400 0.4073% 0.0053%

秘书

姜勇 中国 核心技术人员 1.0980 0.1339% 0.0017%

陈煌琳 中国台湾 核心技术人员 1.1950 0.1457% 0.0019%

刘志强 新加坡 核心技术人员 1.2710 0.1550% 0.0020%

何伟业 中国 核心技术人员 1.2930 0.1577% 0.0021%

张凯 中国 核心技术人员 5.0000 0.6098% 0.0080%

小计 56.1970 6.8533% 0.0897%

二、其他激励对象

董事会认为需要激励的其他人员（3048人） 643.8030 78.5126% 1.0282%

首次授予部分合计（3061 人） 700 85.3659% 1.1180%

预留部分 120 14.6341% 0.1916%

合计 820 100.0000% 1.3096%

注：1.上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本的 1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的 20%。

2.本计划激励对象不包括独立董事、单独或合计持有上市公司 5%以上股份的股东、上
市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

3.预留部分的激励对象由本激励计划经股东会审议通过后 12 个月内确定，经董事会提
出、董事会薪酬与考核委员会发表明确意见、律师发表专业意见并出具法律意见书后，公司在指定网站按要求及时准确披露激励对象相关信息。

4.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。

二、董事会认为需要激励的其他人员情况

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