公告日期：2026-03-31

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-027
中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026 年限制性股票激励计划（草案）摘要公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

股权激励方式：限制性股票（第二类）

股份来源：公司向激励对象定向发行公司 A 股普通股股票

股权激励的权益总数及涉及的标的股票总数：《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“本激励计划”或“本计划”） 拟向激励对象授予不超过 820 万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本总额 62,614.5307 万股的 1.3096%。其中首次授予不超过 700万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的 1.1180%，首次授予部分约占本次授予权益总额的 85.3659%；预留 120 万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的 0.1916%，预留部分约占本次授予权益总额的 14.6341%。

一、股权激励计划目的

为了进一步建立、健全公司长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动公司员工的积极性，有效地将股东利益、公司利益和员工利益结合在一起，使各方共同关注公司的长远发展，在充分保障股东利益的前提下，按照激励与约束对等的原则，根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）、《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权激励信息披露》（以下简称“《监管指南》”）等有关法律、法规和规范性文件以及《中
微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的规定，制定本激励计划。

截至本激励计划公告日，本公司同时在实施 2022 年限制性股票激励计划、2023 年限制性股票激励计划、2024 年限制性股票激励计划和 2025 年限制性股票激励计划。

(一)2022 年限制性股票激励计划

公司分别于 2022 年 3 月 9 日、2022 年 3 月 25 日召开第二届董事会第三次
会议、2022 年第二次临时股东大会，审议通过了《关于公司<2022 年限制性股票
激励计划（草案）>及其摘要的议案》及相关议案。公司于 2022 年 3 月 29 日向
2022 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票 400 万股，约占授予时点公司股本总额的 0.649%。

(二)2023 年限制性股票激励计划

公司分别于 2023 年 3 月 30 日、2023 年 4 月 20 日召开第二届董事会第十一
次会议、2022 年年度股东大会，审议通过了《关于公司<2023 年限制性股票激励
计划（草案）>及其摘要的议案》及相关议案。公司于 2023 年 6 月 12 日向 2023
年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票 550 万股，约占授予时点公司股本总额的 0.89%。

（三）2024 年限制性股票激励计划

公司分别于 2024 年 3 月 27 日、2024 年 4 月 17 日召开第二届董事会第二十
一次会议、2023 年年度股东大会，审议通过了《关于公司<2024 年限制性股票激
励计划（草案）>及其摘要的议案》及相关议案。公司于 2024 年 4 月 26 日向 2024
年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票 880 万股，约占 2024 年限制性股票激励计划公告时公司股本总额 61,927.9423 万股的 1.4210%。

（四）2025 年限制性股票激励计划

公司分别于 2025 年 4 月 17 日、2025 年 5 月 28 日召开第三届董事会第二次
会议、2024 年年度股东大会，审议通过了《关于<2025 年限制性股票激励计划（草
案）>及其摘要的议案》及相关议案。公司于 2025 年 6 月 10 日向 2025 年限制性
股票激励计划激励对象首次授予限制性股票 1000 万股，约占 2025 年限制性股票激励计划公告时公司股本总额 62,236.3735 万股的 1.6068%。

本激励计划与正在实施的其他激励计划相互独立，不存在相关联系。

二、股权激励方式及标的股票来源

（一）本激励计划的激励方式

本激励计划采用的激励工具为第二类限制性股票。符合本激励计划授予条件的激励对象……
[点击查看PDF原文]

提示：本网不保证其真实性和客观性，一切有关该股的有效信息，以交易所的公告为准，敬请投资者注意风险。