公告日期：2026-03-31

中微半导体设备（上海）股份有限公司

普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）的履职情况评估报告
根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《国有企业、上市公司选聘会计师事务所管理办法》等规定和要求，公司对普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）在 2025 年度的审计工作的履职情况进行了评估。经评估，公司认为，近一年普华永道中天资质等方面合规有效，履职能够保持独立性，勤勉尽责，公允表达其意见 。具体情况如下：

一、2025 年年审会计师事务所基本情况

（一）会计师事务所基本情况

普华永道中天前身为 1993 年 3 月 28 日成立的普华大华会计师事务所，经批准于
2000 年 6 月更名为普华永道中天会计师事务所有限公司；经 2012 年 12 月 24 日财政部
财会函[2012]52 号批准，于 2013 年 1 月 18 日转制为普华永道中天会计师事务所（特殊
普通合伙）。注册地址为中国（上海）自由贸易试验区海阳西路 555 号、东育路 588 号第 45 层 4501、4504 单元。

普华永道中天拥有会计师事务所执业证书，具备从事 H 股企业审计业务的资质。此外，普华永道中天是普华永道国际网络成员机构，同时也在美国公众公司会计监督委员会（US PCAOB）注册从事相关审计业务。

普华永道中天的首席合伙人为李丹。截至 2025 年 12 月 31 日，普华永道中天合伙
人数为 172 人，注册会计师人数达 940 人，其中自 2013 年起签署过证券服务业务审计
报告的注册会计师人数为 200 余人。

普华永道中天经审计的最近一个会计年度（2024 年度）的收入总额为人民币 63.19亿元，审计业务收入为人民币 57.70 亿元，证券业务收入为人民币 25.36 亿元。

普华永道中天的2024年度上市公司财务报表审计客户数量(含A股和B股)为29家，上市公司财务报表审计收费总额为人民币 8,208.81 万元，主要行业包括制造业，交通运输、仓储和邮政业，批发和零售业及租赁和商务服务业等，与本公司同行业(制造业)的上市公司审计客户共 21 家。

（二）聘任会计师事务所履行的程序

公司于2025年4月17日召开第三届董事会第二次会议及第三届监事会第二次会议，审议通过《关于续聘公司 2025 年度审计机构的议案》，同意续聘普华永道中天会计师事
务所（特殊普通合伙）为公司 2025 年度审计机构，并提请股东大会授权公司管理层按市场价格洽谈确定审计报酬。上述议案已经公司股东大会审议通过。

二、质量管理水平

1. 项目咨询

普华永道中天根据与项目沟通、监督与复核相关的政策与程序，就重大审计及会计判断问题及时向风险及质量管理部及相关专业技术支持部门进行咨询，按时解决了公司重点难点技术问题。

2. 意见分歧解决

普华永道中天对于项目组内存在专业意见分歧的处理有明确的政策，规定在项目组内或项目负责人、质量复核合伙人及其他被咨询的合伙人未达成一致意见时，不能出具审计报告。近一年审计过程中，普华永道中天就公司的所有重大会计审计事项未发生意见分歧的情况。

3. 项目质量复核

普华永道中天对项目组的沟通、监督与复核制定了一系列政策与程序，项目组成员在执行复核工作时，根据不同领域的重要程度和复杂程度等因素，由不同级别人员进行复核，项目合伙人积极参与解决项目执行过程中的会计、审计及项目管理的问题，进行适当的监督和复核，包括解决重要事项、识别咨询事项等，确保在出具报告前所有支持审计意见的充分、适当的审计证据均已获得。除了审计项目组内部的复核程序外，普华永道中天对本公司审计项目委派质量复核合伙人，以加强项目质量控制复核，客观评价项目组作出的重大判断以及结论。同时，会计咨询服务部在对本审计项目进行复核，指定会计专业咨询专家复核团队协助项目组复核公司的财务报表。

4. 项目质量检查

普华永道中天风险及质量管理部对审计项目执行严格的内部质量监控检查制度以有效防范审计风险和保障高质量的审计执业水平，主要包括实时项目质量监控检查和已完成项目的质量监控检查。普华永道中天始终关注质量监控检查中发现的问题，以不断完善相应的政策和程序，保持稳定的工作质量。

5. 质量管理缺陷识别与整改

普华永道中天制定了与质量监控检查相关的政策与程序，风险及质量管理部针对质量监控检查或外部检查中发现的问题，及时评估事务所质量管理体系是否存在缺陷以及
缺陷的重大程度和影响的广泛性，并迅速制定有效的整改措施并监督整改措施的落实及其执行的有效性。

2025 年年度审计过程中，普华永道中天勤勉尽责，本项目……
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