公告日期：2026-03-31

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2026 年限制性股票激励计划实施考核管理办法

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为进一步健全公司的激励约束机制，形成良好均衡的价值分配体系，有效地将股东利益、公司利益和员工个人利益结合在一起，使其更诚信勤勉地开展工作，以保证公司业绩稳步提升，确保公司发展战略和经营目标的实现。按照激励与约束对等的原则，公司拟实施 2026 年限制性股票激励计划。

为保证公司 2026 年限制性股票激励计划的顺利实施，现根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律、法规和规范性文件、以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体（上海）股份有限公司 2026年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“激励计划”、“计划”）的相关规定，特制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年限制性股票激励计划实施考核管理办法》（以下简称“本办法”）。

一、考核目的

进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程度上发挥激励计划的作用。

二、考核原则

考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的业绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高公司整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。

三、考核范围

本办法适用于公司本次激励计划所确定的所有激励对象，即薪酬与考核委员会确定并经董事会审议通过的所有激励对象。

四、考核机构

（一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。

（二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与考核委员会负责及报告工作。

（三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供, 并对数据的真实性和可靠性负责。

（四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。

五、考核指标及标准

（一）公司层面业绩考核要求

本激励计划首次授予的限制性股票考核年度为 2026-2029 四个会计年度，每
个会计年度考核一次。以公司 2025 年度的营业收入为基数，根据各考核年度的 营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩 考核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

归属期 对应考 该考核年度使用的 业绩考核目标 公司层面

核年度 营业收入 归属比例

X≧对标企业算术平 100%

均增长率

第一个 对标企业算术平均增

归属期 2026 2026 年营业收入 长率*0.8≦X<对标企 80%

业算术平均增长率

X<对标企业算术平 0

均增长率*0.8

X≧对标企业算术平 100%

均增长率

第二个 2026 年、2027 年两 对标企业算术平均增

归属期 2027 年营业收入累计值 长率*0.8≦X<对标企 80%

业算术平均增长率

X<对标企业算术平 0

均增长率*0.8

X≧对标企业算术平 100%

均增长率

第三个 2026 年、2027 年和 对标企业算术平均增

归属期 ……
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