公告日期：2026-03-31

中信证券股份有限公司

在充分尽职调查和内核的基础上出具的承诺函

中信证券股份有限公司（以下简称“本独立财务顾问”）接受中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”）的委托，作为上市公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金（以下简称“本次交易”）的独立财务顾问，依照《上市公司重大资产重组管理办法》《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第26号——上市公司重大资产重组》《上市公司并购重组财务顾问业务管理办法》及其他相关法规规范要求，认真履行了尽职调查义务，对上市公司相关的信息披露文件进行了审慎核查，并出具了独立财务顾问核查意见，本独立财务顾问保证所出具的专业意见的真实性、准确性和完整性。

本独立财务顾问在充分尽职调查和内核的基础上作出以下承诺：

1、本独立财务顾问与本次交易涉及的交易各方均不存在其他重大利益关系，就本次交易发表有关核查意见是独立进行的；

2、本独立财务顾问核查意见所依据的文件、材料由本次交易涉及的交易各方提供，交易各方均已出具承诺，保证其所提供信息的真实性、准确性和完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其所提供资料的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。本独立财务顾问不承担由此引起的任何风险责任；

3、本独立财务顾问已履行了本阶段必要的尽职调查义务，在此基础上有理由确信所发表的专业意见与上市公司及本次交易的交易各方现阶段披露的文件内容不存在实质性差异；

4、本独立财务顾问已对上市公司及本次交易的交易各方现阶段披露的文件进行必要核查，确信披露文件的内容与格式符合要求；

5、基于本阶段的尽职调查，本独立财务顾问有理由确信上市公司出具的交易方案符合法律、法规和中国证券监督管理委员会及上海证券交易所的相关规定，所披露的信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏；

6、本独立财务顾问有关本次交易的本阶段核查意见已经提交本独立财务顾问内核机构审查，内核机构同意出具本独立财务顾问核查意见；

7、本独立财务顾问在与上市公司接触后至担任独立财务顾问期间，已采取严格的保密措施，严格执行风险控制和内部隔离制度，不存在内幕交易，操纵市场和证券欺诈问题；

8、本独立财务顾问未委托和授权任何其他机构或个人提供未在核查意见中列示的信息和对核查意见作出任何解释或者说明；

本独立财务顾问特别提请上市公司全体股东和广大投资者认真阅读就本次交易事项披露的相关公告，查阅有关文件。

（以下无正文）

（本页无正文，为《中信证券股份有限公司在充分尽职调查和内核的基础上出具的承诺函》之签字盖章页）

财务顾问主办人：

艾 华 姚 爽 王诗言

中信证券股份有限公司
年 月 日

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