公告日期：2026-03-31

中信证券股份有限公司

关于本次交易符合《关于加强证券公司在投资银行类业务中
聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》

的相关规定的核查意见

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”）拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司（以下简称“标的公司”）64.69%的股权（以下简称“标的资产”）并募集配套资金（以下简称“本次交易”）。
中信证券股份有限公司（以下简称“本独立财务顾问”）作为上市公司本次交易的独立财务顾问，按照中国证监会《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》（[2018]22号）的规定，就独立财务顾问及上市公司在本次交易中聘请第三方机构或个人（以下简称“第三方”）的行为进行核查并发表如下意见：

一、本独立财务顾问不存在各类直接或间接有偿聘请第三方的行为

经核查，截至本核查意见出具日，本独立财务顾问在本次交易中不存在各类直接或间接有偿聘请第三方行为，亦不存在未披露的聘请第三方行为，符合《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》相关规定的要求。

二、上市公司不存在有偿聘请其他第三方的情况

在本次交易中，上市公司在本次交易中聘请的中介机构情况如下：

1、聘请中信证券股份有限公司作为本次交易的独立财务顾问；

2、聘请上海市锦天城律师事务所作为本次交易的法律顾问；

3、聘请普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）作为本次交易的审计机构及备考审阅机构；

4、聘请浙江中联资产评估有限公司作为本次交易的资产评估机构。

上述中介机构均为本次交易依法需聘请的证券服务机构。除上述聘请行为外，
上市公司本次交易不存在直接或间接有偿聘请其他第三方的行为。

三、独立财务顾问的核查意见

经核查，本独立财务顾问认为：

1、截至本核查意见出具日，本次交易中独立财务顾问不存在直接或间接有偿聘请第三方的行为，符合《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》的相关规定。

2、除依法聘请独立财务顾问、法律顾问、审计机构、评估机构之外，上市公司本次交易不存在直接或间接有偿聘请其他第三方的行为。上市公司聘请行为合法合规，符合《关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见》（证监会公告〔2018〕22号）的规定。

（以下无正文）

（本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于本次交易符合<关于加强证券公司在投资银行类业务中聘请第三方等廉洁从业风险防控的意见>的相关规定的核查意见》之签字盖章页）

财务顾问主办人：

艾 华 姚 爽 王诗言

中信证券股份有限公司
年 月 日

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