公告日期：2026-03-31

中微半导体设备（上海）股份有限公司

独立董事 2025 年年度述职报告

作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上市公司治理准则》《上市公司独立董事管理办法》等有关法律、法规、规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》（以下简称“《独立董事工作制度》”）等相关规定，我积极参加公司董事会，认真审议议案，积极履职，尽职尽责，充分发挥独立董事作用，切实维护公司整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将2025年度履职情况报告如下：

一、独立董事的基本情况

（一）个人工作履历、专业背景以及兼职情况

徐萍女士，1969年生，中国国籍，北京大学法学学士，复旦大学法律硕士。2003年至2022年，任天元律师事务所合伙人，主要从事证券、公司收购与兼并、资产重组以及境外融资业务；2016年至2019年，任中国证监会第六届并购重组审核委员会委员；2023年至今，任汉坤律师事务所合伙人（境内证券业务主要负责人）。

（二）独立性说明

作为公司的独立董事，我本人及直系亲属、主要社会关系均不在公司或其附属企业任职，且未在公司关联企业任职；没有为公司或其附属企业提供财务、法律、咨询等服务。我具备《上市公司独立董事管理办法》《公司章程》和《独立董事工作制度》所要求的独立性和担任公司独立董事的任职资格。我在履职过程中能够确保客观、独立的专业判断，维护全体股东特别是中小投资者的利益，不存在影响独立性的情况。

二、独立董事年度履职概况

（一）参加股东会、董事会会议情况

董事 参加董事会情况 参加股东会情
姓名 况

本年应参加 亲自出 委托出 缺席 是否连续两次 出席股东会的
董事会次数 席次数 席次数 次数 未亲自参加会 次数

议

张聿 8 8 0 0 否 4

作为公司独立董事，我独立、客观、审慎的对公司 2025 年度董事会所有议案行使表决权。我本着勤勉尽责的态度，在每次董事会前认真审阅议案及相关材料；同时，依据多年实务积累的经验和专业能力对董事会及公司的运作经营提出了合理建议。

我认为公司 2025 年度董事会、股东会会议的召开及重大事项的表决符合法律法规等相关规定。

（二）参加董事会专门委员会会议情况

2025 年内，公司董事会审计委员会共召开 6 次会议及 1 次与外部审计机构单独沟通
的会议、提名委员会召开 3 次会议、战略委员会召开 2 次会议、薪酬与考核委员会召开3 次会议、ESG 委员会召开 1 次会议，独立董事未有无故缺席的情况发生。我作为董事会审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会的成员，积极参加相关会议，与公司财务部、内审部及外部会计师及时进行沟通，并就相关问题与外部会计师、公司管理层进行了沟通，保证公司财务定期报告真实、准确、完整，符合相关法律法规的要求；与公司董事、高级管理人员、人力资源等部门就公司新任董事的任职资格等进行认真的沟通讨论；与公司人力资源等部门沟通讨论公司员工股权激励计划的归属及实施、董事及高管薪酬方案和考核指标。

（三）表决情况

2025年度，公司董事会及专门委员会会议的召集及召开符合法定程序，审议的议案符合公司经营发展的实际需要，我在对公司相关会议各项议案认真审议后，对全部议案投“赞成票”，不存在投“反对票”、“弃权票”的情况。

（四）现场考察、上市公司配合独立董事工作的情况

报告期内，我对公司进行了现场考察，密切关注公司的经营管理情况和财务状况，并通过电话和邮件，与公司高级管理人员、经办人员等沟通，及时获取公司重大事项的进展情况，及时获悉公司重大事项的进展。在召开董事会及相关会议前，公司认真组织准备会议资料，并及时准确传递，为独立董事工作提供了便利条件，为我做好履职工作提供了全面支持。

三、独立董事年度履职重点关注事项的情况

（一）关联交易情况

公司20……
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