公告日期：2026-03-31

中信证券股份有限公司

关于本次交易产业政策和交易类型的核查意见

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”、“公司”）拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司（以下简称“标的公司”）64.69%的股权（以下简称“标的资产”）并募集配套资金（以下简称“本次交易”）。

中信证券股份有限公司（以下简称“本独立财务顾问”）作为上市公司本次交易的独立财务顾问，根据《监管规则适用指引——上市类第 1 号》《上海证券交易所上市公司自律监管规则适用指引第 6 号——重大资产重组》等规范性文件的要求，对本次交易所涉及的产业政策和交易类型进行了核查，并发表如下核查意见：

一、本次交易涉及的行业或企业是否属于《监管规则适用指引——上市类第1 号》确定的“汽车、钢铁、水泥、船舶、电解铝、稀土、电子信息、医药、农业产业化龙头企业、高档数控机床和机器人、航空航天装备、海洋工程装备及高技术船舶、先进轨道交通装备、电力装备、新一代信息技术、新材料、环保、新能源、生物产业；党中央、国务院要求的其他亟需加快整合、转型升级的产业”
上市公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司瞄准世界科技前沿，基于在半导体设备制造产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED 外延片生产、功率器件、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域。按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，上市公司属于专用设备制造业（行业代码：C35）。

标的公司主要从事高端化学机械抛光和化学机械平坦化（CMP）设备的研发、生产及销售，是国内少数有能力批量供应 12 英寸 CMP 设备的国产设备厂商，已切入国内知名先进存储厂商和逻辑芯片制造厂商，产品性能和技术指标已接近国际先进水平。按照《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，标的公司属于专用设备制造业（行业代码：C35）。

经核查，本独立财务顾问认为：本次交易涉及的行业与企业属于《监管规则适用指引——上市类第 1 号》确定的“汽车、钢铁、水泥、船舶、电解铝、稀土、
电子信息、医药、农业产业化龙头企业、高档数控机床和机器人、航空航天装备、海洋工程装备及高技术船舶、先进轨道交通装备、电力装备、新一代信息技术、新材料、环保、新能源、生物产业；党中央、国务院要求的其他亟需加快整合、转型升级的产业”中的相关产业。

二、本次交易所涉及的交易类型是否属于同行业或上下游并购

如前所述，上市公司与标的公司主营业务均为半导体设备的研发、生产及销售。

经核查，本独立财务顾问认为：本次交易所涉及的交易类型属于同行业或上下游并购。

三、本次交易是否构成重组上市

本次交易前后，上市公司均无控股股东、实际控制人，本次交易不会导致上市公司控制权变更。此外，上市公司最近 36 个月内控制权未发生变更。因此，根据《上市公司重大资产重组管理办法》的相关规定，本次交易不构成重组上市
经核查，本独立财务顾问认为：本次交易不会导致上市公司控制权发生变更，本次交易不构成重组上市。

四、本次交易是否涉及发行股份

上市公司拟发行股份及支付现金购买标的公司 64.69%的股权，同时拟向不超过 35 名符合条件的特定对象发行股份募集配套资金。

经核查，本独立财务顾问认为：本次交易涉及发行股份。

五、上市公司是否存在被中国证监会立案稽查尚未结案的情形

根据上市公司相关公告、现任董事、高级管理人员出具的承诺以及中国证监会等监管部门的公开信息，上市公司及现任董事、高级管理人员不存在被司法机关立案侦查或者被中国证监会立案调查尚未结案的情形。

经核查，本独立财务顾问认为：上市公司不存在被中国证监会立案稽查尚未结案的情形。

六、中国证监会或上海证券交易所要求的其他事项
无。
（以下无正文）

（本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于本次交易产业政策和交易类型的核查意见》之签字盖章页）

财务顾问主办人：

艾 华 姚 爽 王诗言

中信证券股份有限公司
年 月 日

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