公告日期：2026-04-25

上海市锦天城律师事务所关于

中微半导体设备（上海）股份有限公司

向 2026 年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股
票之

法律意见书

地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 9/11/12 层

电话：021-20511000 传真：021-20511999

邮编：200120

释 义

在本法律意见书中，除非文义另有所指，下列词语具有以下含义：

公司、中微公司 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司

本所 指 上海市锦天城律师事务所

本所律师 指 本法律意见书的签字律师

本激励计划 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年限
制性股票激励计划

《激励计划（草案）》 指 《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年
限制性股票激励计划（草案）》

限制性股票 指 符合本激励计划授予条件的激励对象，在满足相
应归属条件后分次获得并登记的公司股票

按本激励计划规定，获得限制性股票的公司核心
激励对象 指 技术人员、董事、高级管理人员以及董事会认为
需要激励的其他人员

授予日 指 公司向激励对象授予限制性股票的日期

授予价格 指 公司授予激励对象每一限制性股票的价格

归属 指 限制性股票激励对象满足获益条件后，公司将股
票登记至激励对象账户的行为

中国证监会 指 中国证券监督管理委员会

上交所 指 上海证券交易所

《公司法》 指 《中华人民共和国公司法》

《证券法》 指 《中华人民共和国证券法》

《管理办法》 指 《上市公司股权激励管理办法》

《上市规则》 指 《上海证券交易所科创板股票上市规则》

《披露指南》 指 《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权
激励信息披露》

《考核办法》 指 《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年
限制性股票激励计划实施考核管理办法》

《公司章程》 指 《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》

元、万元 指 人民币元、人民币万元

上海市锦天城律师事务所

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

向 2026 年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票之
法律意见书

致：中微半导体设备（上海）股份有限公司

上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受公司的委托，担任公司2026 年限制性股票激励计划的专项法律顾问，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权激励信息披露》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，已就公司本激励计划有关事宜出具了《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司 2026 年限制性股票激励计划（草案）的法律意见书》。经本所律师进一步核查，现就公司向2026 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票（以下简称“授予”）之相关事项出具本法律意见书。

对出具本法律意见书，本所及本所律师声明如下：

1、本所及本所律师依据《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本……
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