公告日期：2025-06-17

证券代码：688082 证券简称：盛美上海

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2025-03

投资者关系 特定对象调研 □分析师会议

活动类别 □媒体采访 □业绩说明会

□新闻发布会 □路演活动

现场参观 □其他

会议时间 2025 年 6 月 12 日

会议地点 上海市浦东新区新元南路 388 号

上市公司 董事长：HUI WANG

接待人员姓名 总经理：王坚

财务负责人：LISA YI LU FENG

副总经理：陈福平

董事会秘书：罗明珠

问答环节

1、目前公司推出了诸多创新性产品，公司产品布局是基于哪些
因素考量？

答：半导体行业对技术的追求永无止境，未来行业竞争的核心将
继续聚焦前沿技术的创新突破。公司的产品布局不仅精准对接客
投资者关系活动

户当前需求，更前瞻性地布局未来 5-10 年的技术发展路径。展
主要内容介绍

望未来，公司坚信伴随中国客户对技术创新的持续需求，公司未
来发展前景可期。

2、请问公司得以保持技术领先优势的底气来自哪里？

答：公司高度重视技术差异化，持续推进产品创新与技术突破，
公司的 PECVD、Track 及炉管设备等产品线均在持续推进研发创新，加强颠覆性技术创新，进而引领行业发展。同时，公司坚持长期稳健的研发投入，为技术创新提供强劲支撑，持续巩固核心竞争力。
3、请问公司的 Track 设备未来在哪些方面会有更多的突破？答：公司 Track 设备采用盛美差异化的平台设计，可以满足高产出量、低维护成本的需求。未来将持续通过供应链渠道优化保障零部件供应的稳定性，不断深化工艺创新，覆盖更广泛的市场需求；同时不断推进客户端的产品验证，提升市场认可度并进一步拓展客户资源。公司最新研发的用于 KrF 工艺的 300WPH Track
beta 样机预计于 2025 年 6 月底进入客户端验证，公司对其市场
前景充满信心，为高端 Track 的国产化做出贡献。
4、请问公司有哪些机会点和哪些挑战？
答：在发展机遇方面，AI 作为前沿制造工艺，其技术革新需求将为公司创造广阔空间。例如，公司已研发出针对 IGBT 市场的清洗设备及炉管设备。在 IGBT 成熟制程上，公司也将持续进行研发创新，满足客户端效率需求。此外，伴随行业竞争加剧，公司会持续推出具备差异化竞争优势的设备，加大研发投入力度，不断提升市场竞争力和客户认可度。
5、请问公司截至目前在手订单情况如何？
答：按惯例，公司将在每年 9 月底披露在手订单情况。目前公司订单第三季度已排满，第四季度也即将排满。
6、公司超临界 CO2 干燥清洗设备的进度怎么样？
答：公司自主研发的超临界 CO2 干燥清洗设备目前已达到世界领先水平，CO2用量与国外同行设备相比预计可节省 50%，可大幅降
低客户的消耗品成本，预计至今年年底将获得 2 家客户订单。同时，公司对该设备的技术实力充满信心，期待后续在中国市场取得较高的市场份额。
7、炉管及 Track 设备什么时候起量？
答：公司预计，包括 LPCVD、氧化炉和 ALD 在内的炉管系列设备
将在 2025 年实现显著放量。公司自主研发的 Ultra Fn 立式炉管
设备未来也将是一个显著的增长点，该设备采用公司独有的炉管结构设计，具备最高 1250°C 的处理能力，并能使表面无晶格错位。据我们了解，目前业内尚无其他厂商能够在立式炉管设备中……
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