公告日期：2025-08-19

深圳中科飞测科技股份有限公司

2025 年度“提质增效重回报”专项行动方案的

半年度评估报告

为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，深圳中科飞测科技股份有限公司
（以下简称“公司”）于 2025 年 4 月 4 日发布了 2025 年度“提质增效重回报”
行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树立良好的资本市场形象。

2025 年上半年，专项行动方案实施进展情况如下：
一、 聚焦主业，持续突破创新提升竞争力

2025 年上半年，公司继续专注于高端半导体质量控制领域，进一步提升经营管理能力及综合实力，实现长期、稳定和可持续的发展。具体包括以下方面：
1、持续高水平研发投入，稳步推进各系列设备产业化进程

公司继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向，持续在各类型产品快速迭代升级及新产品研发上加大研发投入规模，各系列产品产业化进程取得积极成果。
作为国内高端半导体质量控制设备行业领军企业，为加快满足下游客户对高端半导体质量控制设备日益增长的需求，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，2025 年上半年，公司研发投入达28,541.65 万元，较上年同期增长 37.79%，占营业收入的比例约 40.65%。同时，公司注重知识产权的保护，制定了较为完善的覆盖专利研发至产业化应用的全流
程管理制度。截至 2025 年 6 月末，公司累计获得专利 642 项（其中发明专利共
计 214 项），比上年末增加 41 项。

高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力，报告期内公司稳步推进各系列设备的产业化进程。截至 2025 年 6 月末，公司九大系列设备和三大
系列智能软件的产品组合构成了全方位的良率管理解决方案，覆盖接近 70%的半导体质量控制设备市场容量。其中七大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，公司各系列产品市占率稳步快速增长；另外两大系列设备已完成样机研发，并已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。

2、持续优化供应链体系，保障生产经营安全稳定

长期以来，公司重视半导体设备零部件的国产化替代，通过构建多元化的供应链体系，与相关领域供应商建立良好和稳定的合作关系。

2025 年上半年，公司持续关注国内供应商的发展，并通过积极培育国产供应商等方式，共同推动产业链上下游的协同发展。在设备整机的研发和产业化进程中，公司从方案设计阶段公司就已经将零部件的稳定可靠供应作为整体方案设计的重要考虑因素之一，确保供应链能够保障在设备完成研发后顺利转入大规模量产，保证产品和技术的自主可控；对于已经量产的设备，公司持续强化供应链稳定性，不断地根据外部形势和内部需求优化供应渠道，强化供应链风险评估与识别能力，并制定详细应急预案与应对措施，确保供应链交付的高品质与持续性。
3、加大市场开发力度，进一步提升市场占有率

公司凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售后服务等积极因素，品牌认可度不断提升，客户群体覆盖度进一步扩大，已广泛覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS 等前道制程企业，碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企业，晶圆级封装和 2.5D/3D 封装等先进封装企业，大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP 设备等各类制程设备企业，客户订单量持续增长。公司在持续获得已有客户重复订单的同时，积极开拓了多家新客户，市场占有率进一步提升。2025 年上半年，公司实现营业收入 70,217.39 万元，同比增长 51.39%。

4、强化人才体系建设，保障公司持续健康发展

公司自成立以来重视人才培养和储备，强化现有培训体系的建设，截至 2025
年 6 月 30 日，公司研发团队 577 人，较上年末增长 20.71%。其中，硕士及博士
研究生占比 56.34%，涵盖光学、算法、软件、机械、电气、自动化控制等专业方向，跨专业、多层次的人才梯队构成公司研发的中坚力量。

此外，公司持续推进限制性股票激励计划，促进公司核心人才队伍的建设和稳定，充分调动公司员工的积极性，为公司良性发展夯实基础。2025 年 3 月 28日，公司召开第二届董事会第十次会议与第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于向激励对象授予 2024 年限制性股票激励计划预留部分限制性股票的议
案》，确定 2025 年 3 月 28 日为预留授予日，以授予价格 30.55 元/股（调整后）
向 6 名董事、高级管理人员、核心技术人员及技……
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