公告日期：2026-04-25

深圳中科飞测科技股份有限公司

2026 年度“提质增效重回报”专项行动方案

为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，深圳中科飞测科技股份有限公司
（以下简称“公司”）于 2025 年 4 月制定了《2025 年度“提质增效重回报”行动
方案》（以下简称“行动方案”）。通过切实践行“提质增效重回报”行动方案，公司在提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，稳定股价，树立良好的资本市场形象等方面取得了积极成效。为能在 2026 年更好地延续上述方面取得的良好成绩，公司特制定《2026 年度“提质增效重回报”行动方案》，对2025 年方案执行情况进行总结，并明确 2026 年提升经营效率、强化市场竞争力、保障投资者权益、树立良好的资本市场形象的相关举措。具体情况如下：
一、聚焦主业，持续突破创新提升竞争力

2025 年度，公司实现营业收入 205,329.82 万元，同比增长 48.75%，主要得
益于公司在突破核心技术、持续产业化推进和迭代升级各系列产品的过程中取得的重要成果，公司在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的全面竞争优势进一步增强，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新系列产品及第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。

报告期内，公司实现归属于上市公司股东的净利润 5,865.26 万元，实现扭亏为盈，主要系规模效应逐步凸显，公司研发投入稳步增长但占营业收入的比例同比有所下降，盈利水平提升。

公司 2025 年执行情况以及 2026 年的行动规划具体包括以下方面：

1、持续高水平研发投入，稳步推进各系列设备产业化进程

核心技术实力作为公司市场竞争力及行业地位的重要体现，公司一直将研发能力的提升作为自身发展的重要战略。2025 年公司研发投入达 65,611.15 万元，
较 2024 年同期增长 31.76%，占营业收入的比例约 31.95%，位于行业领先水平。同时，公司注重知识产权的保护，持续完善覆盖专利研发至产业化应用的全流程管理制度。截至报告期末，公司拥有知识产权 789 项（发明专利 314 项），比上年末增长 25.24%。

公司在持续保持高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力的同时，继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势，为客户提供全方位的产品和服务解决方案，同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和量测需求，进一步提高产品的先进性，加深与客户合作的紧密度和深度。截至报告期末，公司十三大系列设备和三大系列智能软件的产品组合构成了全方位的良率管理解决方案，覆盖光学、电子束以及 X 光三大核心技术路线超过 70%的半导体质量控制设备市场容量。其中九大系列设备已经批量量产并在国内头部客户产线应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市占率稳步快速增长；目前明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆平整度量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发；电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中。

2026 年，公司将继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向，通过持续推进新产品以及现有产品更先进制程型号的研发和产业化，不断提高公司的市场覆盖深度和广度，以满足客户随制程突破和创新而日益提升的设备需求，加快缩小与国际龙头企业在产品线丰富度、技术先进性等方面的差距，持续巩固和提高市场地位。

2、持续优化供应链体系，保障生产经营安全稳定

长期以来，公司重视半导体设备零部件的国产化替代，并积极与相关领域供应商建立良好和稳定的合作关系。在设备整机的研发和产业化进程中，公司从方案设计阶段就已经将零部件的稳定可靠供应作为整体方案设计的重要考虑因素之一，确保供应链能够保障在设备完成研发后顺利转入大规模量产，保证产品和技术的自主可控；对于已经量产的设备，公司持续强化供应链稳定性，不断地根据外部形势和内部需求优化供应渠道，强化供应链风险评估与识别能力，并制定详细应急预案与应对措施，确保供应链交付的高品质与持续性。

2026 年，公司将持续关注国内供应商的发展，并通过积极培育国产供应商等方式，共同推动产业链上下游的协同发展。同时，公司将继续优化采购供应链，提升原材料采购质量，优化采购成本，对供应商实施动态管理，定期对供应商历史采购价格、供货周期、产品质量、技术发展、合作服务等方面进行评比，并由采购部门根据物料的采购情况、市场行情，和供应商进行……
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