公告日期：2026-04-30

南京晶升装备股份有限公司

2025年度“提质增效重回报”行动方案的评估报告暨
2026年度“提质增效重回报”行动方案

为践行“以投资者为本”的上市公司发展理念，增强投资者回报信心，提升投资者获得感，实现管理层与股东利益的共担共享，南京晶升装备股份有限
公司（以下简称“公司”）于 2025 年 4 月 29 日发布了《2024 年度“提质增效重
回报”行动方案的评估报告暨 2025 年度“提质增效重回报”行动方案》（以下简称“行动方案”）。2025 年，公司积极落实行动方案，持续聚焦主营业务，提升核心竞争力，重视投资者回报，完善公司治理。

为延续 2025 年度行动方案的成果，公司在总结 2025 年度“提质增效重回
报”行动方案执行情况的基础上，制定《2026 年度“提质增效重回报”行动方案》，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，树立良好的资本市场形象。

一、聚焦主营业务，提升核心竞争力

自设立以来，公司致力于晶体生长设备的研发生产，在半导体晶体生长设备领域持续深耕。公司基于晶体生长设备共性基础技术，结合下游产业市场需求，根据不同发展阶段产业化应用方向，开展不同晶体生长设备的产品开发、产品优化、产品迭代等技术研发。

2025 年，公司持续专注于主营业务的深耕细作，持续加大研发投入力度，不断提升产品的市场竞争力，从而全面提升公司的核心竞争力及产品盈利能力。
1、加大研发投入，推进产品全面布局

2025年末，公司及其子公司累计获得国内专利90项，其中发明专利41项，实用新型专利 49 项。同时，公司持续对算法进行迭代升级，开发精度更高的自动化控制系统以及与之匹配的热场，并着力解决晶体生长过程不可监测等制约碳化硅材料发展的问题。通过优化设备综合性能，有效帮助客户提高晶体良率与降低成本。此外，公司在具有新增长潜力的协同业务领域积极探索，布局晶
体生长设备以外的半导体领域其他产品，丰富产品种类以满足客户差异化需求。公司高度重视新产品的自主研发与创新，继续保持高额的研发投入，加速 CVD设备、切割设备、减薄设备、抛光设备等新产品的推出与定制样机的批量化转换，同时推进特种材料、耗材等材料领域的业务进程，为公司发展贡献新的增长点。2025 年度，公司研发费用为 42,852,284.04 元，占营业收入的 37.09%。
2026 年，公司将持续聚焦半导体设备领域核心技术攻关，巩固并深化在半导体硅、碳化硅等半导体材料生长设备及关键工艺上的领先地位。同时，公司将加大新产品研发投入与市场拓展力度，在半导体关键设备、核心耗材领域持续推进进口替代，加速新产品、新材料的落地，为公司长远发展和业绩增长储备技术动能。此外，随着人工智能技术的快速发展，半导体材料多元化应用场景不断涌现，公司将抓紧行业发展机遇，围绕相关核心领域积极布局，聚焦产品研发与技术突破，优化应用解决方案，提升在新兴领域的市场适配能力，为中国半导体产业高质量发展贡献更大价值。

公司主要在研项目如下表所示：

项目名称 拟达到目标 具体应用

前景

通过实现直径 300mm 碳化硅单晶的稳定、可重复生

12英寸碳化硅晶 长，解决大直径碳化硅径向温度均匀性问题、大尺寸 碳化硅单晶生
体生长设备开发 热应力导致的晶体翘曲、开裂问题，控制碳化硅晶体 长

衬底成本，来提高碳化硅材料应用占比，提升市场竞

争力。

在 8 英寸碳化硅外延炉技术基础上，开发一款水平式

双腔碳化硅外延 双腔碳化硅外延炉。保持工艺延续性，减少设备占地 碳化硅外延

炉开发 面积，同时更改维护方式，降低维护难度，有效提升

设备产能。

优化籽晶和坩埚的升降/旋转机构，提升运行精度；

改进热场结构设计，实现轴向和径向温度梯度的协同

NPS 单晶生长系 调控；开发智能长晶控制系统，实现生长过程的实时 单晶硅生长

统技术研发 监测与自适应调节；建立NPS单晶的生长工艺。最终

完成满足 NPS 单晶技术要求的生长系统开发，实现

NPS 单……
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