公告日期：2026-03-14

国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2025 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定，对芯碁微装 2025 年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间

经中国证券监督管理委员会证监许可〔2023〕563 号文《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）10,497,245 股，每股面值人民币 1 元，募集资金总额为797,685,647.55 元，扣除各项发行费用 8,322,726.38 元，实际募集资金净额为789,362,921.17 元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了容诚验字[2023]230Z0198 号验资报告。

（二）募集资金以前年度使用金额

截至 2024 年 12 月 31 日，公司累计已使用募集资金人民币 37,821.40 万元，
利息收入 983.58 万元，手续费用 6.02 万元，剩余募集资金余额人民币 42,092.46
万元。

（三）募集资金本年度使用金额及年末余额

2025 年，公司已使用募集资金 16,123.08 万元。截至 2025 年 12 月 31 日，
公司累计已使用募集资金投入项目 53,944.48 万元，剩余募集资金余额人民币
26,773.45 万元。截至 2025 年 12 月 31 日，募集资金使用情况如下：

单位：人民币万元

项目 金额

募集资金净额 78,936.29

经批准置换先期投入金额 -

以前年度投入金额 37,821.40

本年度投入金额 16,123.08

累计使用募集资金金额 53,944.48

尚未使用金额 24,991.81

减：闲置募集资金临时补充流动资金 -

减：购买理财产品未到期的 22,000.00

累计利息收入、理财收益及手续费净额 1,781.64

减：其他转出 -

截至 2025 年 12 月 31 日募集资金专户余额 4,773.45

二、募集资金管理情况

（一）募集资金的管理情况

根据有关法律法规及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。

根据管理制度并结合经营需要，公司对 2022 年度向特定对象发行股票募集资金实行专户存储，在银行设立募集资金使用专户，并与开户银行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》（以下统称《募集资金监管协议》），对募集资金
的使用实施严格审批，以保证专款专用。截至 2025 年 12 月 31 日，公司均严格
按照该《募集资金监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

（二）募集资金专户存……
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