公告日期：2026-03-14

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-015
合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁
微装”）于 2026 年 3 月 13 日召开了第三届董事会第四次会议，审议
通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币 25,000 万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过 20,000 万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东会审议通过之日起 12 个月，该事项需经股东会审议。

董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。公司保荐机构国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）
对上述事项出具了明确的同意意见。上述事项尚需提交股东会审批。现将有关事项公告如下：

一、募集资金基本情况

公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的注册申请于 2023 年 3
月 15 日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563 号）。本次向特定对象发行股票总数量为 10,497,245 股，发行价格为 75.99 元/股，实际募集资金总额为人民币 797,685,647.55 元，扣除本次发行费用（不含税）
人 民 币 8,322,726.38 元 后 ， 实 际 募 集 资 金 净 额 为 人 民 币
789,362,921.17 元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次向特定对象发行股票的募集资金到位情况进行了审验，并于 2023
年 7 月 26 日出具了《验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）。
为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
详细情况请参见公司已于 2023 年 8 月 8 日披露于上海证券交易所网
站（http://www.sse.com.cn）的《关于开设募集资金专项账户并签订募集资金专户存储三方监管协议的公告》。

二、募集资金投资项目情况

截至 2025 年 12 月 31 日，公司募集资金使用情况如下：

募集资金 募集资金计划投 本年投入金额 截至报告期末累计
来源 项目名称 资总额（元） （元） 投入募集资金总额
（元）

直写光刻设备产业 257,657,273.62 19,295,779.54 135,344,841.28
应用拓展深化项目

向特定对 IC 载板、类载板直

象发行股 写光刻设备产业化 175,837,500.00 51,085,076.90 125,773,335.83
票 项目

关键子系统、核心零 151,720,000.00 789,721.34 83,838,670.84
部件自主研发项目

补充流动资金项目 204,148,147.55 90,060,217.14 194,487,955.14

合计 / 789,362,921.17 161,230,794.92 539,444,803.09

由于募投项目建设需要一定周期，根据募投项目建设进度，现阶 段募集资金在短期内出现暂时闲置的情况。在不影响募集资金投资项 目建设、不影响公司正常生产经营及确保资金安全的情况下，公司将 合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率。

三、本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进……
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