公告日期：2021-08-17

目 录

1.关于收入...... 3
2.关于毛利率...... 7

1.关于收入

根据问询回复：（1）干法去胶设备中应用于逻辑芯片 5nm 以内的销售收入、
占比分别由 2019 年的 X 万元、X%下降至 2020 年的 X 万元、X%，18-28nm 的销售
收入、占比分别由 2019 年的 X 万元、X%上升至 2020 年的 X 万元、X%；（2）备品
备件均为公司交由供应商定制化生产或公司采购的通用型配件；（3）公司在美国
专用设备销售客户主要为客户 R 和客户 S，客户 R 因 2019 年行业景气度下行及
2020 年新冠疫情爆发等原因推迟了资本性开支计划，客户 S 在 2019 年及 2020
年未向公司采购快速热处理设备。

请发行人说明：（1）公司应用于 5nm 以内产品收入大幅下降、18-28nm 产品
收入大幅上升的原因，与行业变动趋势是否一致；（2）报告期各期，区分定制化、通用型备品备件的收入占比和毛利率；（3）2019-2020 年客户 S 未向公司采购快速热处理设备的原因，2021 年公司对客户 R、客户 S 的销售及在手订单情况，发行人在美国的新客户拓展情况。

请保荐机构、申报会计师核查上述事项并发表明确意见。

回复：

一、发行人说明

（一）公司应用于 5nm 以内产品收入大幅下降、10-28nm 产品收入大幅上
升的原因，与行业变动趋势一致

2019 年、2020 年，公司干法去胶设备中应用于逻辑芯片 5nm 以内、10-28nm
产品的销售情况如下表所示：

单位：台、万元

制程节点 2020 年度 2019 年度

销量 销售收入 销量 销售收入

5nm 以内（含 5nm） X X X X

10-28nm（含 28nm） X X X X

报告期内，受益于国内半导体行业景气度提升及公司持续开拓国内市场，公司来自于境内客户的收入取得大幅提升，在逻辑芯片领域，国内厂商中目前最先
进的量产制程为 14nm，其余国内客户制程需求以 14-28nm（含 28nm）或 28nm以上设备为主，国内客户需求的提升导致公司成熟制程设备销量大幅提升。2019年、2020 年，发行人应用于逻辑芯片 10-28nm（含 28nm）的干法去胶设备销售
收入由 X 万元增长至 X 万元，增加 X 万元，其中来自于境内客户的收入分别为
X 万元和 X 万元，境内客户收入增加 X 万元。因此，2020 年应用于 10-28nm（含
28nm）收入增长主要来自于境内销售增长。

根据目前全球知名集成电路厂商制程研发进展，5nm 以内制程设备的需求集
中于某些主要客户。通常情况下，客户会综合考虑其下游客户预期订单情况、资本开支规模整体规划等因素确定设备采购计划。公司应用于逻辑芯片 5nm 以内
（含 5nm）的干法去胶设备销售收入自 2019 年的 X 万元下降至 X 万元，主要与
客户采购计划相关。2021 年以来，随着半导体行业景气度持续提升，多数芯片
制造厂商加大先进制程领域的资本开支。2021 年 1-6 月，公司 5nm 以内（含 5nm）
的干法去胶设备合计已实现销售收入约 X 亿元（未经审计）。

综上，2019 年-2020 年期间，公司应用于 5nm 以内产品收入下降、10-28nm
产品收入大幅上升具有合理性，与行业变动趋势不存在差异。

（二）报告期各期，定制化、通用型备品备件的收入占比和毛利率

报告期内，公司备品备件销售区分定制化、通用型的具体情况如下表所示：
单位：万元

项目 2020 年度 2019 年度 2018 年度

金额 占比 金额 占比 金额 ……
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