公告日期：2026-03-11

证券代码：688785 证券简称：恒运昌
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-002

☑特定对象调研 □分析师会议

□媒体采访 □业绩说明会

投资者关系活动 □新闻发布会 □路演活动

类别 □现场参观

□其他 （请文字说明其他活动内容）

易方达基金、工银瑞信基金、嘉实基金、淡水泉基金、硕和资产、
参与机构名称 中信证券

时间 2026年3月5日—2026年3月6日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋

公司接待人员 董事长、总经理 乐卫平

董事会秘书 庄丽华

姓名 投资者关系专员 郝一骏

1. 请介绍一下公司主营业务及产品情况

回答：公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体
投资者关系活动 解决方案的平台型公司。公司的等离子体射频电源系统（等离子体
主要内容介绍 射频电源及匹配器）被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀
、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积
、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环
节，直接决定设备工艺能力、产品良率。历经十年，公司先后推出
CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打
破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。
公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更
先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。

2. 公司主营产品的验证周期是怎么样的？

回答：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业
规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及
晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶
圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证
周期长。公司早在2018年与拓荆科技率先开展等离子体射频电源系
统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，产品于2020年
下半年开始逐步批量交付。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商均
加速核心零部件国产化，所有半导体装备商的验证周期都在同步压
缩，同一客户其他系列产品的验证时间也相应减少，公司产品的整
体认证周期也逐步缩短。

3. 公司的研发投入及研发人员情况是怎样的？
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求，不断加大研发投入。2022年至2025年上半年，公司研发费用占营业收入的比例分别为 13.62%、11.36%、10.22%和 14.24%。
2022年至2025年上半年，公司研发人员占比分别为35.90%、33.02%、41.64%、42.13%。
4.公司产品的国产化进程如何了？
回答：历经十年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。公司目前也启动了包括质量流量计在内的其他半导体设备核心零部件国产化研发工作。与此同时，公司持续加强供应链的国产化，……
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