公告日期：2026-03-17

证券代码：688785 证券简称：恒运昌
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-003

☑特定对象调研 □分析师会议

□媒体采访 □业绩说明会

投资者关系活动 □新闻发布会 □路演活动

类别 □现场参观

□其他 （请文字说明其他活动内容）

参与机构名称 财通基金、海富通基金、国海证券

时间 2026年3月12日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋

公司接待人员 董事会秘书 庄丽华

姓名 投资者关系专员 郝一骏

1. 请介绍一下公司的业务情况及产品情况

回答：公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事
投资者关系活动 等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、
主要内容介绍 各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体
控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体
解决方案。公司主要产品等离子体射频电源系统（等离子体射频电
源及匹配器）被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子
注入、清洗去胶、键合等环节，且直接决定设备工艺能力、产品良
率。历经十年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列
等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十
年的垄断格局，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频
电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证
阶段。

2. 请介绍一下公司核心技术优势

回答：经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展
、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术
体系，一方面从测量、控制及架构三方面构建的底层通用的 3 大基
石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制
程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出 8 大
产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设
计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、
快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。
频快速响应能够使等离子体在最短时间内达到稳定状态，实现对薄
膜厚度和膜厚均匀性的精准控制，是设备运行的稳定性和产品良率的关键。公司主要产品等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶和键合环节生产设备的核心零部件，是半导体制造中等离子体工艺控制的核心。同时，等离子体射频电源系统也是半导体设备零部件国产化最难环节之一，在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。3. 请介绍一下公司人员情况
回答：截止2025年6月30日，公司员工人数达375人。其中，生产人员占比约28%，管理及其他职能人员占比约26%，销售人员占比约4%，研发人员占比约42%，员工总数及研发人员数量均保持高速增长。公司核心技术人员均具有15年以上的从业经验，主要研发骨干……
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