公告日期：2026-04-28

中信证券股份有限公司

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

使用募集资金置换募投项目预先投入的

自筹资金及已支付发行费用的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市持续督导阶段的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规，对恒运昌使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的事项进行了审慎核查，发表意见如下：
一、募集资金的基本情况

根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671 号），并经上海证券交易所审核同意，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）1,693.0559 万股，发行价格 92.18 元/股，募集资金总额为 156,065.89 万元人民币，扣除本次发行费用（不含增值税）14,690.13 万元人民币后，募集资金净额为人民币 141,375.76 万元。

上述资金已全部到位，经天健会计师事务所（特殊普通合伙）审验并于 2026
年 1 月 22 日出具了《验资报告》（天健验〔2026〕3-9 号）。公司及子公司已根据
相关法律法规、规范性文件的规定，与保荐人及存放募集资金的商业银行签署了募集资金专户监管协议，对募集资金采取专户储存管理。
二、募集资金投资项目的基本情况

根据《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司本次募集资金投资项目及募集资金使用计划如下：

序 项目内容 项目投资总额 拟使用募集资
号 金金额

1 沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目 16,573.24 14,000.00

2 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运 69,696.96 69,000.00
营基地项目

3 研发与前沿技术创新中心项目 36,267.07 35,000.00

4 营销及技术支持中心项目 12,378.86 12,000.00

5 补充流动资金 16,900.00 16,900.00

合计 151,816.13 146,900.00

注：由于公司扣除发行费用后，公司本次募集资金净额为人民币 141,375.76 万元，募集资金净额低于募集资金承诺投资总额，因此公司对补充流动资金项目的投资金额进行了相应的调整，补充流动资金项目调整后的投资总额为人民币 11,375.76 万元，拟使用募集资金金额为人民币 11,375.76 万元。
三、以自筹资金预先投入募投项目和已支付发行费用的情况及置换安排

（一）以自筹资金预先投入募投项目的情况及置换安排

募集资金到位前，为顺利推进募投项目建设，公司根据项目进度的实际情况，
使用自筹资金对募投项目进行了预先投入。截至 2026 年 4 月 15 日，公司以自筹
资金预先投入募投项目的实际投资额为 5,948.31 万元，公司将进行置换。本次置换具体情况如下：

序 募投项目名称 拟投入募集资金金额 自筹资金预先 拟置换金
号 （调整后） 投入金额 额

1 沈阳半导体射频电源系统产 14,000.00 5,948.31 5,948.31
业化建设项目

2 半导体与真空装备核心零部 69,000.00 - -
件智能化生产运营基地项目

3 研发与前沿技术创新中心项 35,000.00 ……
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