截至2026年5月12日 10:10，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.63%，成分股晶升股份上涨16.75%，芯源微上涨15.29%，华海清科上涨7.02%，兴福电子，沪硅产业等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨2.44%，最新价报2.19元。拉长时间看，截至2026年5月11日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨8.49%，涨幅排名可比基金1/3。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手率5.9%，成交额5.20亿元。拉长时间看，截至5月11日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交额11.02亿元，居可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达87.40亿元，创近1月新高。（数据来源：Wind）

　　截至5月11日，科创半导体ETF华夏近1年净值上涨117.04%，指数股票型基金排名101/3831，居于前2.64%。科创半导体ETF华夏成立以来超越基准年化收益为2.89%。

　　跟踪精度方面，截至2026年5月11日，科创半导体ETF华夏近3月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。