截至2026年5月13日 09:39，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌0.48%。成分股方面涨跌互现，新益昌领涨9.56%，天岳先进上涨5.07%，晶升股份上涨4.81%；艾森股份领跌3.00%，和林微纳下跌2.91%，中芯国际下跌2.75%。科创半导体ETF华夏(588170)下跌0.54%，最新报价2.2元。拉长时间看，截至2026年5月12日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨12.40%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手1.45%，成交1.25亿元。拉长时间看，截至5月12日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交12.37亿元，居可比基金第一。

　　规模方面，截至5月12日，科创半导体ETF华夏最新规模达87.63亿元，创近1月新高。

　　消息方面，2026年5月11日，上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等单位，基于“书生”科学大模型与科学发现平台，成功构建“AI决策+自动化合成”闭环研发体系，攻克高端KrF光刻胶树脂稳定制备难题。

　　相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

　　半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。