截至2026年5月13日 13:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.44%，成分股天岳先进上涨12.01%，京仪装备上涨10.16%，晶升股份上涨10.01%，雅克科技，华海诚科等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨3.25%， 冲击3连涨。最新价报2.45元。拉长时间看，截至2026年5月12日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨12.00%，涨幅排名可比基金1/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率9.49%，成交额2.90亿元。拉长时间看，截至5月12日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额3.06亿元。

　　规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达30.39亿元，创近3月新高。（数据来源：Wind）

　　截至5月12日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨52.70%。

　　跟踪精度方面，截至2026年5月12日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。