截至2026年5月14日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌0.32%。成分股方面涨跌互现，中船特气、晶升股份涨停，天岳先进上涨15.26%；芯源微领跌5.97%，耐科装备下跌5.61%，安集科技下跌5.57%。科创半导体ETF华夏(588170)盘中换手18.83%，成交17.02亿元，市场交投活跃。

　　盘面上看，第三代半导体、碳化硅概念拉涨，东吴证券指出，“十五五”期间科技自立自强是重中之重，国产半导体有望加快发展，尤其是先进制程。受益于计算、存储、面板价格的上涨，半导体资本开支预期持续升温。在玻纤板块，受益于高阶PCB需求放量，电子布产能紧张加剧，近期国内电子纱市场主流产品G75价格延续一定涨势，市场整体成交价格亦有上涨，结构性紧缺仍会延续，价格弹性将增强。

　　数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。