5月15日，A股三大指数集体回调，上证指数收跌1.02%，创业板指收跌0.56%，市场风险偏好阶段性承压。在此背景下，半导体设备ETF国泰（159516）逆势强劲上扬，收盘涨幅达4.55%，成交额高达40.57亿元，单日交投活跃度位居全市场行业主题ETF前列，显著跑赢宽基与多数科技类ETF。

　　研报观点显示，设备端正迎来“业绩兑现+逻辑强化”双击窗口。华西证券指出，国产替代紧迫性空前提升；同时，2026年Q1国内半导体设备ETF单周上涨10.35%，拥挤度分位数仅20.2%，显著低于通信设备（100%分位）、半导体（高位）等方向，具备较高性价比与资金承接潜力。另据中泰研究，AI算力基建正从芯片向电力、工业环节扩散，而设备作为国产化率最低、技术壁垒最高、验证周期最长的环节，一旦突破即形成强护城河，当前晶圆厂采购节奏已企稳，进口依赖度稳步下降。

　　半导体设备ETF国泰（159516）跟踪中证半导体材料设备主题指数（932282），聚焦40家深度参与半导体材料研发、设备制造及核心零部件供应的优质上市公司，覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、量测等关键环节，是观测国产半导体设备自主化进程的核心工具型产品。